[實用新型]一種安裝支架和半導體去膠機臺

有效

• 申請號: 201920444446.1
• 申請日: 2019-04-02
• 公開（公告）號: CN209991170U
• 公開（公告）日: 2020-01-24
• 發明（設計）人: 楊保勛;姚敏;彭國發
• 申請（專利權）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號: F16M13/02
• 分類號: F16M13/02;F16M11/04;H01L21/67;G01V8/10
• 代理公司: 31237 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 屈蘅

1.一種安裝支架，用于將光檢測器件安裝于機臺上，且所述光檢測器件具有一最佳檢測位置，其特征在于，包括：

滑座，用于與所述機臺連接；以及，

調節件，設置于所述滑座上，并能夠相對于所述滑座移動和轉動；

其中：所述光檢測器件用于設置于所述調節件上，所述調節件用于帶動所述光檢測器件相對于所述調節件運動，以使所述光檢測器件達到所述最佳檢測位置。

2.根據權利要求1所述的一種安裝支架，其特征在于，所述光檢測器件可活動地設置于所述調節件上。

3.根據權利要求1或2所述的一種安裝支架，其特征在于，所述安裝支架還包括第一定位件，所述第一定位件用于固定所述調節件在所述滑座上的位置。

4.根據權利要求3所述的一種安裝支架，其特征在于，所述滑座為表面光滑的圓柱狀桿體，所述調節件為一套筒；所述套筒套設在所述滑座上，且所述套筒的側壁上開設有第一螺紋孔，所述第一定位件為與所述第一螺紋孔相配合的第一定位螺栓，所述第一定位螺栓的一端穿過所述第一螺紋孔并抵接所述滑座而固定所述套筒。

5.根據權利要求2所述的一種安裝支架，其特征在于，所述安裝支架還包括第二定位件，所述第二定位件用于固定所述光檢測器件在所述調節件上的位置。

6.根據權利要求5所述的一種安裝支架，其特征在于，所述第二定位件包括兩塊定位板，兩塊所述定位板分別用于設置在所述光檢測器件相對的兩側，并均與所述調節件連接；至少一個所述定位板上開設有至少一個第二螺紋孔；所述第二螺紋孔內設置有第二定位螺栓，所述第二定位螺栓的一端穿過所述第二螺紋孔并抵接所述光檢測器件而固定所述光檢測器件。

7.根據權利要求6所述的一種安裝支架，其特征在于，所述安裝支架還包括設置于所述調節件上的過渡板，兩塊所述定位板與所述過渡板連接，并且所述光檢測器件可活動地設置于所述過渡板上。

8.根據權利要求1、2及5-7中任一項所述的一種安裝支架，其特征在于，所述安裝支架還包括一連接板，所述滑座通過所述連接板與所述機臺可拆卸地連接，且所述連接板與所述滑座垂直相連。

9.一種半導體去膠機臺，其特征在于，包括：

承載腔；

承載臺，可活動地設置于所述承載腔內，并用于放置待去膠的晶片；

如權利要求1-8任一項所述的一種安裝支架，設置于所述承載腔的壁上，并位于所述承載臺的一側；

以及光檢測器件，設置于所述安裝支架上；

其中，所述安裝支架用于調整所述光檢測器件的位置，以使所述光檢測器件于一最佳檢測位置對所述承載臺上的晶片進行檢測。

10.根據權利要求9所述的一種半導體去膠機臺，其特征在于，所述光檢測器件為光發射器，所述光發射器用于向所述承載臺方向發射檢測光；

其中，所述半導體去膠機臺還包括光接收器，所述光接收器設置于所述承載腔的另一側的壁上，并用于接收所述檢測光。