[實用新型]一種用于準分子激光器的雙路脈沖觸發(fā)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920406002.9
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN209860344U
• 公開（公告）日: 2019-12-27
• 發(fā)明（設計）人: 馮澤斌;韓曉泉;江銳;楊軍紅;張華;張琴;王香;廖密
• 申請（專利權）人: 北京科益虹源光電技術有限公司
• 主分類號: H01S3/11
• 分類號: H01S3/11
• 代理公司: 44316 深圳市科進知識產權代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 曹衛(wèi)良

本實用新型提供了一種用于準分子激光器的雙路脈沖觸發(fā)裝置，該雙路脈沖觸發(fā)裝置包括主控模塊，外觸輸入模塊、使能輸入模塊、兩路信號切換控制模塊、兩路電脈沖信號處理模塊和兩路光脈沖信號處理模塊；主控模塊實現(xiàn)雙路脈沖觸發(fā)裝置的多種不同脈沖信號輸出模式切換，光脈沖信號和電脈沖信號輸出的切換和兩路脈沖的脈沖參數(shù)的配置，以此實現(xiàn)準分子激光器的雙路脈沖的準確同步，同時使得準分子激光器基于不同的用途時候可以自由切換脈沖輸出模式和激光脈沖輸出形式，增加了準分子激光器的適用范圍，保證了準分子激光器的雙腔同步的精準性。

技術領域

本實用新型涉及準分子激光器領域，一種用于準分子激光器的雙路脈沖觸發(fā)裝置。

背景技術

193nmArF準分子激光器是一種面向深紫外光刻應用的脈沖式氣體激光器，具有高重頻，大能量，短波長，窄線寬的特點，是優(yōu)秀的微電子光刻系統(tǒng)用激光光源。準分子激光器發(fā)出的激光是以脈沖形式發(fā)出的，其每個激光脈沖都是由激光器的高壓放電裝置電擊放電腔中的工作氣體得到的。對于雙腔激光器，兩個腔體觸發(fā)放電的延遲時間是需要調節(jié)的，這就需要協(xié)調控制兩路脈沖觸發(fā)。同時，不同的腔體和高壓模塊對于觸發(fā)放電的脈沖的持續(xù)時間是不一樣的，這就需要脈沖的持續(xù)時間可調。而且有些高壓放電模塊對于觸發(fā)脈沖有著嚴苛的要求，即要求其輸出功率又要求ns級的上升時間。另外準分子激光器的不同用途需要的脈沖模式也不一樣，因此需要一個雙通道多參數(shù)可調多模式可配置的激光脈沖觸發(fā)裝置去控制高壓放電模塊，發(fā)出脈沖的時間，脈沖觸發(fā)的頻率，脈沖觸發(fā)的模式等問題。

鑒于此，克服以上現(xiàn)有技術中的缺陷，提供一種用于準分子激光器的雙路脈沖觸發(fā)的裝置和方法成為本領域亟待解決的技術問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種用于準分子激光器的雙路脈沖觸發(fā)裝置，使得準分子激光器基于不同的用途時候可以自由切換脈沖輸出模式和脈沖輸出形式，增加了準分子激光器的適用范圍，保證了準分子激光器的雙腔同步的精準性。

本實用新型的目的可通過以下的技術措施來實現(xiàn)：

本實用新型提供了一種用于準分子激光器的雙路脈沖觸發(fā)裝置，所述雙路脈沖觸發(fā)裝置包括：與工控機相連的主控模塊，與所述主控模塊相連的外觸輸入模塊、使能輸入模塊、第一信號切換控制模塊和第二信號切換控制模塊，與所述第一信號切換控制模塊相連的第一電脈沖信號處理模塊和第一光脈沖信號處理模塊，與所述第二信號切換控制模塊相連的第二電脈沖信號處理模塊和第二光脈沖信號處理模塊；

所述主控模塊用于響應工控機的控制信號，同時產生第一原始脈沖信號、第二原始脈沖信號、第一控制選擇信號和第二控制選擇信號；

所述外觸輸入模塊用于在外觸發(fā)模式下接收外觸信號以產生觸發(fā)信號，所述使能輸入模塊用于外觸發(fā)模式下判定所述外觸信號為高電平時輸出觸發(fā)信號；

所述第一信號切換控制模塊用于根據(jù)所述第一控制選擇信號將所述第一原始脈沖信號選擇傳輸至第一電脈沖信號處理模塊或者第一光脈沖信號處理模塊，所述第一電脈沖信號處理模塊用于將所述第一原始脈沖信號進行功率放大和波形整定、并輸出電脈沖信號，所述第一光脈沖信號處理模塊用于將所述第一原始脈沖信號轉換并輸出能在光纖中傳輸?shù)募す饷}沖信號；

所述第二信號切換控制模塊用于根據(jù)所述第二控制選擇信號將所述第二原始脈沖信號選擇傳輸至第二電脈沖信號處理模塊或者第二光脈沖信號處理模塊，所述第二電脈沖信號處理模塊用于將所述第二原始脈沖信號進行功率放大和波形整定、并輸出電脈沖信號，所述第二光脈沖信號處理模塊用于將所述第二原始脈沖信號轉換并輸出能在光纖中傳輸?shù)募す饷}沖信號。

進一步的，所述主控模塊包括FPGA和ARM組合芯片，所述FPGA用于處理數(shù)據(jù)，產生原始脈沖信號、輸入外觸信號和使能信號，所述ARM用于控制脈沖信號輸出模式、配置脈沖參數(shù)以及配置雙路脈沖間的延遲時間差。