[實用新型]一種用于碳化硅晶圓測試的載物臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920400600.5
• 申請日: 2019-03-27
• 公開（公告）號: CN209471932U
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發(fā)明（設計）人: 王翼;李赟;趙志飛;李忠輝
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第五十五研究所
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;H01L21/673;H01L21/68
• 代理公司: 南京理工大學專利中心 32203
• 代理人: 陳鵬

1.一種用于碳化硅晶圓測試的載物臺，其特征在于，包括載物臺臺面(1)、定距桿(2)、定距桿滑道(3)、定位槽(4)、轉軸(6)和基座(7)；載物臺臺面(1)上設置有多個同心圓，定距桿(2)配有固定螺絲(5)，定距桿可在對應的定距桿滑道(3)上滑動，對碳化硅晶圓進行定位，定距桿滑道(3)上標有刻度；所述定位槽(4)刻有多條平行線段；轉軸(6)頂部與載物臺臺面(1)背面中心連接，通過電機驅動載物臺臺面(1)升降和旋轉，轉軸(6)底部與基座(7)連接。

2.根據(jù)權利要求1所述的用于碳化硅晶圓測試的載物臺，其特征在于，定距桿(2)和定距桿滑道(3)數(shù)量均為4個，定距桿滑道(3)均勻分布在載物臺臺面(1)上，相鄰定距桿滑道(3)的夾角為90°。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的用于碳化硅晶圓測試的載物臺，其特征在于，固定螺絲(5)設置在載物臺背面或者側面，和定距桿(2)連接。

4.根據(jù)權利要求1所述的用于碳化硅晶圓測試的載物臺，其特征在于，基座(7)上配有傳送帶(12)，由電機驅動，帶動轉軸(6)移動。

5.根據(jù)權利要求1所述的用于碳化硅晶圓測試的載物臺，其特征在于，所示定位槽(4)設置在兩個定距桿滑道(3)之間。

6.根據(jù)權利要求5所述的用于碳化硅晶圓測試的載物臺，其特征在于，定位槽(4)的平行線段至少為5條，平行線段間隔不大于3mm。

7.根據(jù)權利要求1、5或6所述的用于碳化硅晶圓測試的載物臺，其特征在于，定位槽(4)的寬度為10-30mm，深度為5mm。

8.根據(jù)權利要求1所述的用于碳化硅晶圓測試的載物臺，其特征在于，定距桿(2)的高度為2-5mm，直徑為1mm。