[實用新型]基于電液放大的三自由度精密微位移探針有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201920379655.2 | 申請日： | 2019-03-25 |
| 公開（公告）號： | CN209341991U | 公開（公告）日： | 2019-09-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 姜孝吾;劉毅;鄒銘軒;仇芳 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江大學(xué)寧波理工學(xué)院 |
| 主分類號： | G01B5/02 | 分類號： | G01B5/02;G01B7/02 |
| 代理公司： | 杭州天昊專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 劉芬豪 |
| 地址： | 315100 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 電液放大器 活塞 三自由度 小直徑段 腔體 被測物體 變直徑段 大直徑段 壓電陶瓷 測量臂 探針頭 微位移 組電壓 電液 探針 精密 放大 被測物體表面 本實用新型 充滿液體 分析計算 剛性探針 空間位移 柔性球鉸 實際位移 依次設(shè)置 軸向運動 逐漸減小 解耦 轉(zhuǎn)換 | ||
1.一種基于電液放大的三自由度精密微位移探針，其特征在于，包括基座、探針頭和三個測量臂；所述測量臂包括電液放大器和連桿，所述電液放大器內(nèi)部設(shè)有腔體，所述腔體的開口處設(shè)有活塞，所述腔體包括依次設(shè)置的小直徑段、變直徑段和大直徑段，所述小直徑段位于所述電液放大器固定連接于所述基座的一端，所述小直徑段設(shè)有壓電陶瓷，所述變直徑段的橫截面直徑由下至上逐漸減小，所述活塞沿所述大直徑段做軸向運動；所述腔體在所述活塞與所述壓電陶瓷之間充滿液體；所述連桿的兩端分別設(shè)有柔性球鉸以分別連接于所述電液放大器的活塞和所述探針頭。
2.如權(quán)利要求1所述的基于電液放大的三自由度精密微位移探針，其特征在于，所述基座呈等邊三角形，所述探針頭的上部呈等邊三角形，三個所述測量臂呈等邊三角形布置。
3.如權(quán)利要求1所述的基于電液放大的三自由度精密微位移探針，其特征在于，所述基座上設(shè)有連接所述壓電陶瓷的信號觸點。
4.如權(quán)利要求1所述的基于電液放大的三自由度精密微位移探針，其特征在于，所述活塞與所述腔體的壁之間設(shè)有薄膜。
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