[實用新型]部件松脫偵測裝置

有效

• 申請號: 201920354019.4
• 申請日: 2019-03-20
• 公開（公告）號: CN210209958U
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 汪康;田得暄;辛君;吳龍江;林宗賢
• 申請（專利權）人: 德淮半導體有限公司
• 主分類號: B24B41/00
• 分類號: B24B41/00
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 余明偉

1.一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述部件松脫偵測裝置設置于具有共同的貼合面的兩個相互貼合安裝的部件中的任意一個部件上，所述部件松脫偵測裝置包括：

設有兩個開口端的剛性的管路，兩個所述開口端分別為大氣壓接收端和貼合面偵測端，所述大氣壓接收端的海拔高度高于所述貼合面偵測端的海拔高度；

用于覆蓋并密封所述貼合面偵測端的柔性的貼合面軟片，所述貼合面偵測端位于所述貼合面上，所述貼合面軟片貼合于所述貼合面；

容納于所述管路內的液體，所述液體至少浸沒所述貼合面偵測端，所述液體的液面位置位于所述管路內靠近所述大氣壓接收端的一側，且所述液體的液面位置的海拔高度高于所述貼合面偵測端的海拔高度；

用于實時偵測并顯示所述液體的液面位置變化狀態的液位偵測模塊。

2.根據權利要求1所述的一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述部件包括設置于化學研磨機臺中相互貼合安裝的拋光墊修整器和拋光墊修整盤，所述部件松脫偵測裝置設置于所述拋光墊修整器上。

3.根據權利要求1所述的一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述貼合面軟片為雙層結構，包括覆蓋并密封所述貼合面偵測端的密封軟片和覆蓋于所述密封軟片外側的保護軟片。

4.根據權利要求1所述的一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述部件松脫偵測裝置還包括覆蓋并密封大氣壓接收端的柔性的防揮發軟片。

5.根據權利要求4所述的一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述部件松脫偵測裝置還包括包覆所述防揮發軟片的保護殼，所述保護殼設有連通所述保護殼的內部和外部的氣孔。

6.根據權利要求1所述的一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述管路在所述貼合面偵測端的管徑大于在所述液體的液面位置處的管徑。

7.根據權利要求6所述的一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述管路由主管路和毛細管路兩段連接構成，所述主管路位于所述部件內，所述貼合面偵測端位于所述主管路遠離所述毛細管路的一端，所述大氣壓接收端位于所述毛細管路遠離所述主管路的一端，所述液體的液面位置位于所述毛細管路內，所述毛細管路的管徑小于所述主管路的管徑。

8.根據權利要求7所述的一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述毛細管路包括透明毛細管路。

9.根據權利要求1所述的一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述液位偵測模塊包括：用于量測所述液體的液面位置的液位量測單元；

用于獲取并反饋所述液體的液面位置的液位反饋單元，連接所述液位量測單元；

用于將所述液體的液面位置與液面位置設定范圍進行比對，并在所述液體的液面位置超出所述液面位置設定范圍時發出報警的比對報警單元，連接所述液位反饋單元。

10.根據權利要求9所述的一種部件松脫偵測裝置，其特征在于，所述液位量測單元包括磁浮式液位計、壓力式液位計、聲學液位計或光學液位計。