[實(shí)用新型]一種適用于電子芯片的貼合裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920283706.1 | 申請(qǐng)日: | 2019-03-05 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209571391U | 公開(公告)日: | 2019-11-01 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊杰鑫;陳建銘;楊靜敏 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳市杰盛微半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67 |
| 代理公司: | 深圳市匯信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44477 | 代理人: | 趙英杰 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市福田區(qū)*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 箱體內(nèi)壁 支撐板 電子芯片 貼合裝置 貼合 左右兩側(cè) 放置臺(tái) 螺紋塊 真空泵 絲桿 本實(shí)用新型 保護(hù)芯片 電機(jī)固定 螺紋連接 絲桿轉(zhuǎn)動(dòng) 貼合設(shè)備 自動(dòng)上料 限位 電機(jī) 取出 | ||
1.一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于,包括:箱體;
放置臺(tái),所述放置臺(tái)固定于所述箱體內(nèi)壁的底部;
兩個(gè)支撐板,兩個(gè)所述支撐板分別固定于所述箱體內(nèi)壁的左右兩側(cè);
真空泵,所述真空泵固定于所述支撐板的頂部且位于所述箱體內(nèi)壁的左側(cè);
電機(jī),所述電機(jī)固定于所述支撐板的頂部且位于所述箱體內(nèi)壁的有側(cè);
絲桿,所述絲桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接于所述箱體內(nèi)壁的左右兩側(cè)之間;
螺紋塊,所述螺紋塊螺紋連接于所述絲桿的表面;
液壓桿,所述液壓桿固定于所述螺紋塊的底部;
連接管,所述連接管固定于所述液壓桿的底端;
吸附管,所述吸附管貫穿于所述連接管的底端;
第一放置槽,所述第一放置槽開設(shè)于所述放置臺(tái)的頂部且位于吸附管的正下方;
放置箱,所述放置箱固定于所述放置臺(tái)的頂部的右側(cè);
第二放置槽,所述第二放置槽開設(shè)于所述放置臺(tái)的頂部且位于放置箱的左側(cè)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于:所述電機(jī)的輸出軸上通過聯(lián)軸器固定連接有轉(zhuǎn)動(dòng)軸,所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的一端和絲桿的右端均套設(shè)有皮帶輪,兩個(gè)所述皮帶輪的表面通過皮帶傳動(dòng)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于:所述真空泵的輸出端和輸入端均連通有輸氣管,所述輸氣管的右端連通有軟管,所述輸氣管上設(shè)置有真空閥,所述軟管的一端與所述連接管的背面連通。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于:第一放置槽內(nèi)表面的左右兩側(cè)和前后兩側(cè)均連通有第一凹槽,所述第一凹槽內(nèi)表面的頂部和底部之間均滑動(dòng)連接有第一移動(dòng)塊,所述第一移動(dòng)塊的一側(cè)固定連接有限位塊,所述第一移動(dòng)塊的另一側(cè)通過第一彈性件與所述第一凹槽的內(nèi)表面固定連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于:所述第一放置槽內(nèi)表的底部設(shè)置有凸字形塊,所述第一放置槽內(nèi)表面的底部開設(shè)有與凸字形塊相適配的凸字形槽。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于:所述放置臺(tái)的內(nèi)部開設(shè)有第二凹槽,所述第二凹槽內(nèi)表面的底部固定連接有第一電動(dòng)伸縮桿,所述第一電動(dòng)伸縮桿的頂端與所述凸字形塊的底部固定連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于:所述連接管的內(nèi)壁的中間固定連接有固定環(huán),所述固定環(huán)的底部固定連接有橡膠罩,所述橡膠罩的底部與吸附管頂端的表面且位于連接管的內(nèi)部固定連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于:所述吸附管表面的左右兩側(cè)均固定連接有第二移動(dòng)塊,所述第二移動(dòng)塊與所述連接管的內(nèi)表面滑動(dòng)連接,所述連接管內(nèi)壁的左右兩側(cè)均固定連接有固定塊,所述第二移動(dòng)塊的頂部固定連接有滑桿,所述滑桿的頂端貫穿固定塊且延伸至固定塊的上方,所述滑桿的表面且位于固定塊和第二移動(dòng)塊之間套接有第二彈性件。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于:所述放置臺(tái)頂部的右側(cè)且位于放置箱的下方開設(shè)有安裝槽,所述安裝槽內(nèi)表面的右側(cè)固定連接有第二電動(dòng)伸縮桿,所述第二電動(dòng)伸縮桿的一端固定連接有滑塊,所述滑塊的底部與所述安裝槽內(nèi)表面的底部滑動(dòng)連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種適用于電子芯片的貼合裝置,其特征在于:所述滑塊的頂部固定連接有連接塊,所述連接塊的頂部貫穿所述放置箱且延伸至所述放置箱的內(nèi)部,所述連接塊的頂部固定連接有推動(dòng)塊,所述放置箱的底部開設(shè)有與連接塊相適配的滑槽,所述放置箱左側(cè)的底部開設(shè)有通槽,所述放置箱內(nèi)壁右側(cè)的底部開設(shè)有與推動(dòng)塊相適配的第三凹槽。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于深圳市杰盛微半導(dǎo)體有限公司,未經(jīng)深圳市杰盛微半導(dǎo)體有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請(qǐng)聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201920283706.1/1.html,轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





