[實用新型]一種帶壓力調控結構的三氯氧磷供給裝置

有效

• 申請號: 201920258000.X
• 申請日: 2019-02-28
• 公開（公告）號: CN209344044U
• 公開（公告）日: 2019-09-03
• 發明（設計）人: 葉石標;顏大安
• 申請（專利權）人: 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L31/18
• 代理公司: 杭州永航聯科專利代理有限公司 33304
• 代理人: 羅偉清

1.一種帶壓力調控結構的三氯氧磷供給裝置，包括底座，其特征在于，它還包括恒溫箱、源瓶一和源瓶二，恒溫箱固定在底座上，恒溫箱上具有放置槽一和放置槽二，恒溫箱上設置有能將放置槽一的槽口封閉住的箱蓋一，箱蓋一通過可拆卸的方式和源瓶一相連，源瓶一的頂部插設有進氣管一和出氣管一，進氣管一的上端和聯管一的一端相連通，聯管一的一端上還設置有電磁閥一，進氣管一的下端插至源瓶一的底部，出氣管一的上端和聯管二的一端相連通，聯管二的一端上還設置有電磁閥二，出氣管一的下端插設至源瓶一的中部，恒溫箱上設置有能將放置槽二的槽口封閉住的箱蓋二，箱蓋二通過可拆卸的方式和源瓶二相連，源瓶二的頂部插設有進氣管二和出氣管二，進氣管二的上端和聯管一的另一端相連通，聯管一的另一端上還設置有電磁閥三，聯管一的中部具有氮氣輸入口，進氣管二的下端插至源瓶二的底部，出氣管二的上端和聯管二的另一端相連通，聯管二的另一端上還設置有電磁閥四，聯管二的中部通過供氣管和擴散爐相連通，出氣管二的下端插設至源瓶二的中部，恒溫箱上還設置有能使箱蓋一和箱蓋二上下移動的驅動結構，底座上還設置有能調控源瓶一內氣壓和源瓶二內氣壓的壓力調控結構。

2.根據權利要求1所述的帶壓力調控結構的三氯氧磷供給裝置，其特征在于，所述壓力調控結構包括氣囊環一、氣囊環二和氣泵，氣囊環一設置在源瓶一內，氣囊環一的側部和聯管三的一端相連通，聯管三的一端上還具有電磁閥五，氣囊環二設置在源瓶二內，氣囊環二的側部和聯管三的另一端相連通，聯管三的另一端上還具有電磁閥六，聯管三的中部通過導氣管和氣泵相連通，導氣管上還設置有氣流調節閥。

3.根據權利要求1所述的帶壓力調控結構的三氯氧磷供給裝置，其特征在于，所述箱蓋一上還具有防爆結構一，箱蓋二上還具有防爆結構二。

4.根據權利要求3所述的帶壓力調控結構的三氯氧磷供給裝置，其特征在于，所述防爆結構一包括防爆玻璃管一、連接環一和定位座一，定位座一固定在蓋板一上，連接環一套設在防爆玻璃管一上，連接環一通過螺紋連接的方式和定位座一相連；防爆結構二包括防爆玻璃管二、連接環二和定位座二，定位座二固定在箱蓋二上，連接環二套設在防爆玻璃管二上，連接環二通過螺紋連接的方式和定位座二相連。

5.根據權利要求1所述的帶壓力調控結構的三氯氧磷供給裝置，其特征在于，所述驅動結構包括立柱、導軌、滑塊、推桿電機、升降條、電磁鐵一、電磁鐵二、鐵塊一和鐵塊二，鐵塊一固定在箱蓋一上，鐵塊二固定在箱蓋二上，立柱固定在恒溫箱上，導軌豎直固定在立柱上，滑塊設置在立柱上，推桿電機固定在立柱上，推桿電機的推桿豎直向下，推桿電機的推桿端部和滑塊相連，升降條中部和滑塊相連，電磁鐵一固定在升降條一端，且電磁鐵一能與鐵塊一相接觸，電磁鐵二固定在升降條另一端，且電磁鐵二能與鐵塊二相接觸。

6.根據權利要求2所述的帶壓力調控結構的三氯氧磷供給裝置，其特征在于，所述底座上還固定有控制器，電磁閥一、電磁閥二、電磁閥三、電磁閥四、電磁閥五和電磁閥六均通過線路與該控制器相連。