[實(shí)用新型]一種多尺寸片盒放置載臺

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920255800.6
• 申請日: 2019-02-28
• 公開（公告）號: CN209461429U
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉亮榮;祝志華
• 申請（專利權(quán)）人: 金瑞泓科技（衢州）有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 上海泰能知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 31233
• 代理人: 王亮

本實(shí)用新型涉及一種多尺寸片盒放置載臺，包括底座，所述的底座上端橫向安裝有長板，該長板前端中部安裝有短板，所述的長板后端的兩側(cè)均設(shè)置有水平的延伸部，該長板和短板整體呈凸字型板狀結(jié)構(gòu)，所述的底座上端位于短板的前方安裝有凹型板，該底座上端位于凹型板后端開口處的左右兩側(cè)對稱安裝有呈L型的限位塊，所述的凹型板前端的兩側(cè)對稱設(shè)置有L型卡接塊，該L型卡接塊與凹型板的側(cè)壁圍成呈矩形的定位缺口。本實(shí)用新型6寸和8寸片盒可以共用。本裝置具有結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用、使用方便和結(jié)構(gòu)可靠、運(yùn)行平穩(wěn)的特點(diǎn)，避免了因更換不同尺寸片盒造成的停機(jī)和產(chǎn)品損失。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體工裝夾具技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種多尺寸片盒放置載臺。

背景技術(shù)

隨著設(shè)備的自動化程度的日益加深，在一些使用機(jī)械手自動上下料的設(shè)備中，工件的定位準(zhǔn)確度要求也隨之增加。硅片檢測設(shè)備一般用于測量6英寸和8英寸的硅片，不同的硅片用不同尺寸的片盒盛放，目前的做法是：當(dāng)更換不同尺寸的片盒時(shí)，需要更換相應(yīng)的夾具。但因夾具定位精度及結(jié)構(gòu)的限制，再加上作業(yè)員更替頻繁，經(jīng)常出現(xiàn)人為不易察覺但實(shí)際放不到位的情況，造成機(jī)械手取片時(shí)發(fā)生硅片掉出或整盒片子傾倒，從而造成設(shè)備停機(jī)等重大損失。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種多尺寸片盒放置載臺，6寸和8寸片盒可以共用。本裝置具有結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用、使用方便和結(jié)構(gòu)可靠、運(yùn)行平穩(wěn)的特點(diǎn)，避免了因更換不同尺寸片盒造成的停機(jī)和產(chǎn)品損失。

本實(shí)用新型解決其技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是：提供一種多尺寸片盒放置載臺，包括底座，所述的底座上端橫向安裝有長板，該長板前端中部安裝有短板，所述的長板后端的兩側(cè)均設(shè)置有水平的延伸部，該長板和短板整體呈凸字型板狀結(jié)構(gòu)，所述的底座上端位于短板的前方安裝有凹型板，該底座上端位于凹型板后端開口處的左右兩側(cè)對稱安裝有呈L型的限位塊，所述的凹型板前端的兩側(cè)對稱設(shè)置有L型卡接塊，該L型卡接塊與凹型板的側(cè)壁圍成呈矩形的定位缺口。

作為對本實(shí)用新型所述的技術(shù)方案的一種補(bǔ)充，所述的長板和短板一體成型。

作為對本實(shí)用新型所述的技術(shù)方案的一種補(bǔ)充，所述的長板和短板均通過螺釘與底座固定。

作為對本實(shí)用新型所述的技術(shù)方案的一種補(bǔ)充，所述的凹型板與兩個(gè)L型卡接塊一體成型。

有益效果：本實(shí)用新型涉及一種多尺寸片盒放置載臺，6寸和8寸片盒可以共用。本裝置具有結(jié)構(gòu)簡單實(shí)用、使用方便和結(jié)構(gòu)可靠、運(yùn)行平穩(wěn)的特點(diǎn)，避免了因更換不同尺寸片盒造成的停機(jī)和產(chǎn)品損失。

附圖說明

圖1是本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型安裝上6寸片盒的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3是本實(shí)用新型安裝上8寸片盒的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖示：1、底座，2、限位塊，3、凹型板，4、L型卡接塊，5、定位缺口，6、短板，7、長板，8、螺釘，9、延伸部。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本實(shí)用新型作各種改動或修改，這些等價(jià)形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。