[實用新型]墊塊

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201920252543.0
• 申請日: 2019-02-28
• 公開（公告）號: CN209357701U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 王永庭
• 申請（專利權(quán)）人: 無錫華潤安盛科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京博思佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11415
• 代理人: 林祥

1.一種墊塊，用于對電子模塊進行鍵合，其特征在于，包括：

多個作業(yè)區(qū)域，所述多個作業(yè)區(qū)域相互分離；

導(dǎo)氣槽，每一所述作業(yè)區(qū)域?qū)?yīng)至少一條所述導(dǎo)氣槽；

多個導(dǎo)氣孔，每一所述作業(yè)區(qū)域?qū)?yīng)一個或者多個所述導(dǎo)氣孔，且同一所述作業(yè)區(qū)域上的導(dǎo)氣槽與所述導(dǎo)氣孔連通；

多個阻塞塊，所述多個阻塞塊與所述多個導(dǎo)氣孔一一對應(yīng)，且在所述阻塞塊與所述導(dǎo)氣孔配合時，所述導(dǎo)氣孔處于阻塞狀態(tài)，在所述阻塞塊與所述導(dǎo)氣孔分離時，所述導(dǎo)氣孔處于導(dǎo)氣狀態(tài)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的墊塊，其特征在于，每一作業(yè)區(qū)域包括多條導(dǎo)氣槽，所述多條導(dǎo)氣槽中鄰接的兩條導(dǎo)氣槽連通，且每一導(dǎo)氣槽均連通至所述導(dǎo)氣孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的墊塊，其特征在于，多條所述導(dǎo)氣槽的延伸方向平行或者垂直。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的墊塊，其特征在于，每一作業(yè)區(qū)域包括位于中部的單個導(dǎo)氣孔、自所述導(dǎo)氣孔向外延伸的中部導(dǎo)氣槽、和與每一中部導(dǎo)氣槽均連通的邊緣導(dǎo)氣槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的墊塊，其特征在于，所述邊緣導(dǎo)氣槽呈方形或者圓形。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的墊塊，其特征在于，還包括位于所述墊塊內(nèi)部的一條或者多條通氣槽，所述一條或者多條通氣槽連通至鍵合設(shè)備的出氣管。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的墊塊，其特征在于，還包括位于所述墊塊內(nèi)部的一條通氣槽，所述一條通氣槽導(dǎo)通至每一所述導(dǎo)氣孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的墊塊，其特征在于，包括多條通氣槽，所述多條通氣槽與所述多個導(dǎo)氣孔一一對應(yīng)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的墊塊，其特征在于，所述導(dǎo)氣孔內(nèi)設(shè)有螺紋，所述阻塞塊包括螺栓，所述螺栓與所述螺紋配合。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的墊塊，其特征在于，多個所述作業(yè)區(qū)域呈多行多列排布。