[實用新型]電子級氟化鋰裝置尾氣處理系統

有效

• 申請號: 201920244087.5
• 申請日: 2019-02-27
• 公開（公告）號: CN210079225U
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 馮婕妤;遲志奎
• 申請（專利權）人: 南京合創工程設計有限公司
• 主分類號: B01D53/78
• 分類號: B01D53/78;B01D53/68
• 代理公司: 江蘇舜點律師事務所 32319
• 代理人: 何麗霞

1.電子級氟化鋰裝置尾氣處理系統，其特征在于：包括降膜吸收塔、水吸收塔、堿洗滌塔、循環泵和煙囪，所述降膜吸收塔的尾氣出口連接水吸收塔，所述水吸收塔的上端連接堿洗滌塔，所述煙囪設置在堿洗滌塔的上端，所述堿洗滌塔通過第一開關閥連接循環泵，所述循環泵通過第二開關閥連接堿洗滌塔的右上部，所述水吸收塔的下端通過吸收液進口連接降膜吸收塔。

2.如權利要求1所述的電子級氟化鋰裝置尾氣處理系統，其特征在于：所述降膜吸收塔包括噴霧成膜段、冷卻吸收段和氣液分離段，所述噴霧成膜段設置在冷卻吸收段的上端，所述氣液分離段設置在冷卻吸收段的下端。

3.如權利要求2所述的電子級氟化鋰裝置尾氣處理系統，其特征在于：所述噴霧成膜段的上端設置有尾氣進口，所述吸收液進口設置在噴霧成膜段。

4.如權利要求2所述的電子級氟化鋰裝置尾氣處理系統，其特征在于：所述冷卻吸收段的左側端上部分別設置有冷媒出口和冷媒進口。

5.如權利要求2所述的電子級氟化鋰裝置尾氣處理系統，其特征在于：所述氣液分離段的下端設置有液封。

6.如權利要求1所述的電子級氟化鋰裝置尾氣處理系統，其特征在于：所述煙囪內設置有尾氣在線檢測器。