[實用新型]一種太陽能硅片堿洗浸泡裝置有效
| 申請號： | 201920231217.1 | 申請日： | 2019-02-25 |
| 公開（公告）號： | CN209461423U | 公開（公告）日： | 2019-10-01 |
| 發明（設計）人： | 徐衛平;程華 | 申請（專利權）人： | 浙江泰明新能源有限公司 |
| 主分類號： | H01L21/67 | 分類號： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427 | 代理人： | 陳娟 |
| 地址： | 324300 浙江省衢*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 安裝板 導向桿 浸泡槽 螺紋桿 伺服旋轉電機 本實用新型 太陽能硅片 浸泡裝置 支撐底座 轉動安裝 導向孔 螺紋管 支撐架 轉動桿 底端 堿洗 放置盤 加強板 可升降 輸出軸 硅片 拿取 焊接 轉動 貫穿 | ||
1.一種太陽能硅片堿洗浸泡裝置，包括浸泡槽(1)，其特征在于，所述浸泡槽(1)的一側設有支撐底座(3)，支撐底座(3)的頂端轉動安裝有第一轉動桿(4)，第一轉動桿(4)靠近浸泡槽(1)的一側焊接有支撐架(5)，支撐架(5)的頂端與底端分別固定安裝有第一安裝板(6)與第二安裝板(7)，第二安裝板(7)的底端固定安裝有伺服旋轉電機(9)，第二安裝板(7)的頂端轉動安裝有螺紋桿(10)，螺紋桿(10)與伺服旋轉電機(9)的輸出軸固定連接，螺紋桿(10)的外側套設有螺紋管(11)，螺紋管(11)的頂端固定安裝有兩根導向桿(12)，第一安裝板(6)上開設有兩個導向孔，導向桿(12)通過導向孔貫穿第一安裝板(6)，且兩根導向桿(12)的頂端之間固定安裝有加強板(13)，螺紋管(11)遠離靠近浸泡槽(1)的一側固定安裝有L形連接桿(14)，L形連接桿(14)的底端固定安裝有放置盤(16)，放置盤(16)位于浸泡槽(1)的內部，第一轉動桿(4)的外側固定安裝有從動齒輪(8)。
2.根據權利要求1所述的一種太陽能硅片堿洗浸泡裝置，其特征在于，所述支撐底座(3)的頂端位于第一轉動桿(4)遠離浸泡槽(1)的一側分別固定安裝有第一支撐架和第二支撐架，第一支撐架的頂端與底端分別轉動安裝有主動齒輪(15)和從動錐齒輪(17)，主動齒輪(15)與主動齒輪(15)相嚙合。
3.根據權利要求2所述的一種太陽能硅片堿洗浸泡裝置，其特征在于，所述第二支撐架上轉動安裝有水平設置的第二轉動桿(19)，第二轉動桿(19)的一端固定安裝有主動錐齒輪(18)，主動錐齒輪(18)與主動錐齒輪(18)相嚙合。
4.根據權利要求3所述的一種太陽能硅片堿洗浸泡裝置，其特征在于，所述第二轉動桿(19)的另一端固定安裝有轉動把手(20)。
5.根據權利要求1所述的一種太陽能硅片堿洗浸泡裝置，其特征在于，所述放置盤(16)為圓盤形結構，且放置盤(16)為水平設置，放置盤(16)的底端開設有多個通孔，浸泡槽(1)的一側安裝有出水管(2)，出水管(2)上安裝有閥門。
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H01L 半導體器件；其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置；專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理；集成電路器件或其特殊部件的制造
