[實用新型]一種半導體生產加工用搖擺式清洗裝置

有效

• 申請號: 201920159355.3
• 申請日: 2019-01-30
• 公開（公告）號: CN209465418U
• 公開（公告）日: 2019-10-08
• 發明（設計）人: 俞智勇;薛志成
• 申請（專利權）人: 上海蓬昶電子科技有限公司
• 主分類號: B08B3/10
• 分類號: B08B3/10;B08B13/00;H01L21/67
• 代理公司: 北京華仲龍騰專利代理事務所(普通合伙) 11548
• 代理人: 吳月琴

本實用新型公開了一種半導體生產加工用搖擺式清洗裝置，包括固定支架、清洗籃、電機和定位管，所述固定支架的外側通過轉軸設置于箱體內，且固定支架的內側開設有定位槽，所述清洗籃底部的外側均固定有定位塊，且清洗籃通過定位塊設置于固定支架內，所述電機安裝于箱體的外壁上，且電機的輸出軸與轉軸之間通過異形齒輪和齒輪軸相互連接，所述定位管貫穿安裝于箱體的內部，且定位管頂部中心處固定有防護架，所述葉輪的底部通過錐齒與轉桿相互連接，且轉桿設置于定位管的內部。該半導體生產加工用搖擺式清洗裝置，進行半導體清洗過程中的持續搖擺動作，提高半導體的清洗效果，加快半導體清洗的工作效率，減少臟污殘留。

技術領域

本實用新型涉及半導體生產技術領域，具體為一種半導體生產加工用搖擺式清洗裝置。

背景技術

半導體生產加工清洗裝置是在半導體進行生產加工時，對其表面油污進行清洗處理的設備，在清洗時在裝置內加入特制的離子液體，達到半導體表面臟污清洗的工作進行。

然而現有的半導體在清洗時，裝置內部設置恒定，容易造成半導體表面清洗時臟污殘留，降低清洗的工作效率，需要多次重復清洗。針對上述問題，急需在原有半導體生產加工清洗裝置的基礎上進行創新設計。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種半導體生產加工用搖擺式清洗裝置，以解決上述背景技術提出現有的半導體在清洗時，裝置內部設置恒定，容易造成半導體表面清洗時臟污殘留，降低清洗的工作效率，需要多次重復清洗的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體生產加工用搖擺式清洗裝置，包括固定支架、清洗籃、電機和定位管，所述固定支架的外側通過轉軸設置于箱體內，且固定支架的內側開設有定位槽，并且固定支架的底部安裝有定位磁片，所述清洗籃底部的外側均固定有定位塊，且清洗籃通過定位塊設置于固定支架內，所述電機安裝于箱體的外壁上，且電機的輸出軸與轉軸之間通過異形齒輪和齒輪軸相互連接，并且異形齒輪和齒輪軸的邊側設置有鋸齒帶，而且鋸齒帶與電機的輸出軸和轉軸的連接處分別設置有單齒齒輪和全齒輪，所述定位管貫穿安裝于箱體的內部，且定位管頂部中心處固定有防護架，并且防護架內安裝有葉輪，所述葉輪的底部通過錐齒與轉桿相互連接，且轉桿設置于定位管的內部，并且轉桿的端部通過履帶與電機的輸出軸相互連接。

優選的，所述固定支架設置為倒置的“n”字型結構，且固定支架和清洗籃構成相互卡合的拆卸安裝結構，并且固定支架和箱體構成相對轉動結構。

優選的，所述定位磁片在固定支架的底部對稱設置，且定位磁片的頂部設置為內凹狀結構，并且定位磁片和定位塊卡合吸附連接。

優選的，所述異形齒輪上的鋸齒分布長度為異形齒輪總周長的1/8，且異形齒輪與齒輪軸之間嚙合連接。

優選的，所述單齒齒輪與鋸齒帶之間嚙合連接，且單齒齒輪和異形齒輪同軸設置，并且單齒齒輪的單齒與異形齒輪的鋸齒邊側相對設置。

優選的，所述定位管和轉桿同軸設置，且轉桿和定位管構成相對旋轉結構，并且定位管和葉輪相對旋轉設置。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：該半導體生產加工用搖擺式清洗裝置，進行半導體清洗過程中的持續搖擺動作，提高半導體的清洗效果，加快半導體清洗的工作效率，減少臟污殘留；

1、只需要通過固定支架的結構作用下，方便清洗籃整體的拆卸安裝操作，在搖擺清洗時不會發生清洗籃的晃動脫落問題，使得半導體的清洗工作進行更加的快捷；

2、在電機的持續轉動的過程中，能夠帶著固定支架和清洗籃進行持續的搖擺清洗，提高清洗的工作效率，同時在搖擺清洗時，能夠帶著葉輪工作旋轉，對清洗液進行攪動，加快清洗。

附圖說明

圖1為本實用新型正面結構示意圖；

圖2為本實用新型固定支架結構示意圖；