[實(shí)用新型]一種用于測(cè)試芯片電性的氮?dú)鉁y(cè)試盒

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920121413.3
• 申請(qǐng)日: 2019-01-24
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209590217U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-11-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪良恩;黃亮
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 安徽安芯電子科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R31/28
• 分類號(hào): G01R31/28;G01R1/04
• 代理公司: 上海華誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31300
• 代理人: 陳國(guó)俊

1.一種用于測(cè)試芯片電性的氮?dú)鉁y(cè)試盒，其特征在于，包括盒體（1），所述盒體（1）為透明設(shè)置且不設(shè)置底面，盒體（1）的側(cè)面設(shè)置通孔，盒體（1）頂部設(shè)置氮?dú)膺M(jìn)氣管（6），所述氮?dú)膺M(jìn)氣管（6）與外部氮?dú)夤襁B接，盒體（1）內(nèi)設(shè)置測(cè)試銅盤(pán)（7）。

2.如權(quán)利要求1所述的一種用于測(cè)試芯片電性的氮?dú)鉁y(cè)試盒，其特征在于，所述盒體（1）為透明亞克力板材質(zhì)。

3.如權(quán)利要求2所述的一種用于測(cè)試芯片電性的氮?dú)鉁y(cè)試盒，其特征在于，所述盒體（1）側(cè)面的通孔數(shù)量為兩個(gè)，分別為第一通孔（2）和第二通孔（4），第一通孔（2）為矩形，其長(zhǎng)和寬分別為2厘米和1.5厘米，第二通孔（4）為圓形，其直徑為9厘米。

4.如權(quán)利要求3所述的一種用于測(cè)試芯片電性的氮?dú)鉁y(cè)試盒，其特征在于，所述第一通孔（2）上設(shè)置第一海綿（3），所述第一海綿（3）的周邊與第一通孔（2）固接，第一海綿（3）的中心位置處設(shè)置第一海綿通孔（31），所述第一海綿通孔（31）的長(zhǎng)和寬分別為1.6厘米和1.3厘米。

5.如權(quán)利要求3所述的一種用于測(cè)試芯片電性的氮?dú)鉁y(cè)試盒，其特征在于，所述第二通孔（4）上設(shè)置第二海綿（5），所述第二海綿（5）的周邊與第二通孔（4）固接，第二海綿（5）的中心位置處設(shè)置第二海綿通孔（51），所述第二海綿通孔（51）的直徑為7.3厘米。

6.如權(quán)利要求1-5任一所述的一種用于測(cè)試芯片電性的氮?dú)鉁y(cè)試盒，其特征在于，所述盒體（1）的側(cè)面底部設(shè)置密封條（8）。

7.如權(quán)利要求6所述的一種用于測(cè)試芯片電性的氮?dú)鉁y(cè)試盒，其特征在于，所述密封條（8）為熱塑性三元乙丙橡膠密封條。