[實(shí)用新型]一種槽體有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201920105678.4 | 申請(qǐng)日: | 2019-01-22 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN209481853U | 公開(kāi)(公告)日: | 2019-10-11 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 楊健;周軍;費(fèi)正洪 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司;阿特斯陽(yáng)光電力集團(tuán)有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | C30B33/10 | 分類(lèi)號(hào): | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司: | 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
| 地址: | 224431 江蘇省鹽*** | 國(guó)省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 噴淋管路 循環(huán)管路 出液口 蓋板 藥液循環(huán)系統(tǒng) 體內(nèi) 進(jìn)液口 槽體 種槽 太陽(yáng)能電池技術(shù) 本實(shí)用新型 上端開(kāi)口 均勻性 硅片 噴淋 連通 噴射 流出 保證 | ||
本實(shí)用新型屬于太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域,公開(kāi)了一種槽體。該槽體包括本體及設(shè)置于本體的上端開(kāi)口處的蓋板,本體的底部設(shè)置有出液口,槽體還包括藥液循環(huán)系統(tǒng),藥液循環(huán)系統(tǒng)包括噴淋管路及循環(huán)管路,噴淋管路設(shè)置于蓋板內(nèi)部,循環(huán)管路連接于出液口和噴淋管路之間,蓋板的底部設(shè)置有多個(gè)與噴淋管路連通的進(jìn)液口。藥液從出液口流出后經(jīng)循環(huán)管路流至噴淋管路,再?gòu)亩鄠€(gè)進(jìn)液口噴射在本體內(nèi),多個(gè)位置向本體內(nèi)噴淋藥液,藥液充分循環(huán),保證硅片在槽體內(nèi)反應(yīng)的均勻性。
技術(shù)領(lǐng)域
本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能電池技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種槽體。
背景技術(shù)
現(xiàn)有的晶體硅太陽(yáng)能電池的制備工藝如下:清洗制絨→擴(kuò)散→刻蝕→PECVD→絲網(wǎng)印刷→燒結(jié)→測(cè)試分檔→分選→包裝。其中,制絨是為了在硅片表面形成絨面,以提高硅片的陷光作用。現(xiàn)有技術(shù)中,制絨一般在槽體中進(jìn)行,槽體一般包括槽體本體以及藥液循環(huán)系統(tǒng),槽體本體的上端口敞開(kāi)以便于取放盛放硅片的花籃,藥液循環(huán)系統(tǒng)用于循環(huán)藥液,以使藥液保持均勻的濃度。
然而,藥液循環(huán)系統(tǒng)的進(jìn)液口一般設(shè)置在槽體的側(cè)壁上,由于藥液不能均勻的噴灑,使得藥液在槽體內(nèi)腔中的循環(huán)路徑比較單一,一定程度上影響了藥液中硅片反應(yīng)的均勻度,而且在槽體的側(cè)壁設(shè)置通孔,對(duì)槽體的強(qiáng)度有一定的破壞,在意外情況時(shí),還可能導(dǎo)致化學(xué)藥液溢出。
因此,亟需一種槽體,以解決上述問(wèn)題。
實(shí)用新型內(nèi)容
本實(shí)用新型的目的在于提供一種槽體,能夠提高槽體內(nèi)藥液的均勻度。
為達(dá)此目的,本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
一種槽體,包括本體及設(shè)置于所述本體的上端開(kāi)口處的蓋板,所述本體的底部設(shè)置有出液口,所述槽體還包括藥液循環(huán)系統(tǒng),所述藥液循環(huán)系統(tǒng)包括噴淋管路及循環(huán)管路,所述噴淋管路設(shè)置于所述蓋板內(nèi)部,所述循環(huán)管路連接于所述出液口和所述噴淋管路之間,所述蓋板的底部設(shè)置有多個(gè)與所述噴淋管路連通的進(jìn)液口。
作為優(yōu)選,所述噴淋管路呈環(huán)形。
作為優(yōu)選,所述循環(huán)管路的至少一部分管路為柔性管。
作為優(yōu)選,所述進(jìn)液口設(shè)置有伸入所述本體內(nèi)的進(jìn)液管。
作為優(yōu)選,所述進(jìn)液管的管壁和/或底壁設(shè)置有若干用于進(jìn)液的小孔。
作為優(yōu)選,所述藥液循環(huán)系統(tǒng)還包括循環(huán)泵,所述循環(huán)泵連接于所述循環(huán)管路,所述循環(huán)泵被配置為將所述出液口流出的藥液泵至所述進(jìn)液口。
作為優(yōu)選,所述循環(huán)管路上設(shè)置有調(diào)節(jié)閥。
作為優(yōu)選,所述蓋板設(shè)置有兩個(gè),兩個(gè)所述蓋板均對(duì)應(yīng)設(shè)置有一個(gè)所述藥液循環(huán)系統(tǒng),兩個(gè)所述藥液循環(huán)系統(tǒng)均與所述出液口連通。
作為優(yōu)選,所述槽體還包括過(guò)濾裝置,所述過(guò)濾裝置設(shè)置于所述出液口處。
作為優(yōu)選,所述過(guò)濾裝置為濾網(wǎng)。
本實(shí)用新型的有益效果:本實(shí)用新型提供了一種槽體。該槽體設(shè)置有藥液循環(huán)系統(tǒng),藥液循環(huán)系統(tǒng)包括噴淋管路及循環(huán)管路,噴淋管路設(shè)置于所述蓋板內(nèi)部,循環(huán)管路連接于出液口和噴淋管路之間,蓋板的底部設(shè)置有多個(gè)與噴淋管路連通的進(jìn)液口。藥液從出液口流出后經(jīng)循環(huán)管路流至噴淋管路,再?gòu)亩鄠€(gè)進(jìn)液口噴射在本體內(nèi),多個(gè)位置向本體內(nèi)噴淋藥液,藥液充分循環(huán),保證硅片在槽體內(nèi)反應(yīng)的均勻性。
附圖說(shuō)明
圖1是本實(shí)用新型提供的槽體的結(jié)構(gòu)示意圖;
圖2是本實(shí)用新型提供的槽體的剖視圖。
圖中:
1、本體;11、出液口;2、蓋板;21、進(jìn)液口;3、藥液循環(huán)系統(tǒng);31、噴淋管路;32、循環(huán)管路;33、循環(huán)泵;34、調(diào)節(jié)閥;4、進(jìn)液管;41、小孔;5、濾網(wǎng)。
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