[實(shí)用新型]一種氣體制備設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201920006711.8
• 申請(qǐng)日: 2019-01-03
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209406286U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-09-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李東升
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海正帆科技股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B01J7/00
• 分類(lèi)號(hào): B01J7/00
• 代理公司: 北京品源專(zhuān)利代理有限公司 11332
• 代理人: 胡彬

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣體制備設(shè)備。本實(shí)用新型提供的氣體制備設(shè)備包括容器、法蘭密封組件和密封罩。其中，容器包括上封頭和筒體，并通過(guò)法蘭密封組件密封連接，通過(guò)密封罩與容器外壁構(gòu)成密封空間，對(duì)法蘭密封組件進(jìn)行密封，提高氣體制備設(shè)備的密封效果，當(dāng)氣體制備設(shè)備在正壓使用時(shí)，即便法蘭密封失效，也能有效避免電子特氣泄漏，從而避免發(fā)生安全事故和環(huán)境污染。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種氣體制備設(shè)備。

背景技術(shù)

隨著科技的不斷發(fā)展，電子特氣作為基礎(chǔ)性支撐源材料，在半導(dǎo)體、微電子和太陽(yáng)能電池等高科技產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛，電子特氣的制備和提純規(guī)模也越來(lái)越大。電子特氣通常具有易燃、劇毒和腐蝕等危險(xiǎn)性，對(duì)操作人員存在一定的安全隱患，且在電子工業(yè)中，電子特氣的純度通常要求達(dá)到99.9999％以上。

傳統(tǒng)的電子特氣制備設(shè)備包括上封頭、筒體和法蘭密封組件，其中上封頭和筒體通過(guò)法蘭密封組件進(jìn)行密封，法蘭密封組件通常包括法蘭、密封墊和緊固螺栓。但是，隨著法蘭尺寸的增大，電子特氣制備設(shè)備在高溫、高壓和高真空條件下，法蘭的密封性和可靠性變差，電子特氣制備設(shè)備在正壓的使用情況下，會(huì)出現(xiàn)電子特氣泄漏的情況，引發(fā)安全事故或污染環(huán)境。

基于此，亟待發(fā)明一種具有良好密封效果的氣體制備設(shè)備，當(dāng)氣體制備設(shè)備在正壓使用時(shí)，可有效避免電子特氣的泄漏。

實(shí)用新型內(nèi)容

基于以上所述，本實(shí)用新型的目的在于提供一種氣體制備設(shè)備，密封效果良好，當(dāng)氣體制備設(shè)備在正壓使用時(shí)，可有效避免電子特氣的泄漏。

為達(dá)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案：

一種氣體制備設(shè)備，包括容器，所述容器包括上封頭和筒體，所述上封頭和所述筒體通過(guò)法蘭密封組件密封連接，所述氣體制備設(shè)備還包括密封罩，所述密封罩與所述容器外壁共同構(gòu)成密封空間，以密封所述法蘭密封組件。

可選地，所述密封罩包括兩個(gè)呈半圓環(huán)形的殼體，所述殼體包括依次連接呈U形的第一板、第二板以及第三板，所述第二板的兩端分別彎折連接有第一連接板和第二連接板，兩個(gè)所述殼體的所述第一連接板抵接固定，兩個(gè)所述殼體的所述第二連接板抵接固定，以使兩個(gè)所述殼體合圍形成一體結(jié)構(gòu)。

可選地，所述氣體制備設(shè)備還包括抽氣組件，所述抽氣組件被配置為將所述密封空間中的氣體抽出。

可選地，所述抽氣組件包括：

抽氣管和動(dòng)力組件，所述抽氣管分別與所述動(dòng)力組件和所述密封空間相連通；以及

抽氣控制閥，設(shè)置在所述抽氣管上。

可選地，所述抽氣管上還設(shè)置有泄漏偵測(cè)裝置。

可選地，所述氣體制備設(shè)備包括惰性氣體發(fā)生裝置，所述惰性氣體發(fā)生裝置與所述密封空間相連通。

可選地，所述氣體制備設(shè)備還包括進(jìn)氣管和惰性氣體發(fā)生器，所述進(jìn)氣管的一端與所述密封空間相連通，另一端與所述惰性氣體發(fā)生器相連通。

可選地，所述惰性氣體發(fā)生器為氮?dú)獍l(fā)生器。

可選地，所述進(jìn)氣管上設(shè)置有進(jìn)氣控制閥，所述進(jìn)氣控制閥被配置為控制所述進(jìn)氣管內(nèi)氣體流量的大小。

可選地，所述密封罩上設(shè)置有壓力監(jiān)測(cè)裝置，所述壓力監(jiān)測(cè)裝置被配置為檢測(cè)所述密封空間的內(nèi)部壓力。

本實(shí)用新型的有益效果為：

本實(shí)用新型提供的氣體制備設(shè)備包括容器、法蘭密封組件和密封罩。其中，容器包括上封頭和筒體，并通過(guò)法蘭密封組件密封連接，通過(guò)密封罩與容器外壁構(gòu)成密封空間，對(duì)法蘭密封組件進(jìn)行密封，提高氣體制備設(shè)備的密封效果，當(dāng)氣體制備設(shè)備在正壓使用時(shí)，即便法蘭密封失效，也能有效避免電子特氣泄漏，從而避免發(fā)生安全事故和環(huán)境污染。