[發明專利]一種壓電驅動器及其制造方法和成像模組

有效

• 申請號: 201911417712.2
• 申請日: 2019-12-31
• 公開（公告）號: CN113067496B
• 公開（公告）日: 2023-01-20
• 發明（設計）人: 黃河
• 申請（專利權）人: 中芯集成電路（寧波）有限公司
• 主分類號: H04N23/55
• 分類號: H04N23/55;H02N2/02;H02N2/00;H02N2/04;G02B7/04;G02B27/64;G03B5/00;G03B13/34;H10N30/88;H10N30/03;G03B30/00
• 代理公司: 北京思創大成知識產權代理有限公司 11614
• 代理人: 張立君

本發明公開了一種壓電驅動器及其制造方法和成像模組，其中所述壓電啟動器包括：壓電元件，所述壓電元件包括可動端和固定端；支撐塊，用于固定所述壓電元件的固定端；移動部件，設置于所述壓電元件的可動端，所述移動部件設有滑槽，所述可動端至少部分伸入所述滑槽內，所述移動部件設有限位孔，所述限位孔沿所述壓電元件的翹曲方向延伸；固定的導向桿，所述導向桿的至少一部分伸入所述限位孔，所述壓電元件在通電的狀態下，所述可動端能夠帶動所述移動部件相對于所述導向桿向上或向下移動。

技術領域

本發明涉及運動控制技術領域，尤其涉及一種壓電驅動器及其制造方法和成像模組。

背景技術

在一些電子終端中，通常會需要讓其中的某些部件發生平移、豎直移動或者傾斜，進而實現某些特殊功能。例如目前在一些具有鏡頭模組的攝像機、照相機和手機等各種電子終端中，通常會通過VCM馬達(Voice Coil Actuator/Voice Coil Motor，音圈馬達)等驅動機構來使得可移動透鏡或圖像傳感器，在光軸方向上位移以聚焦或變焦，或者，在垂直于光軸方向的方向上位移以防止光學抖動。然而，不同于傳統單反相機，在空間體積狹小的手機、微型攝像機、照相機等電子終端實現該功能，是一項巨大工程挑戰。參考圖1A和1B，為一種制動器的主要結構圖，圖1A為犧牲層釋放后的理想狀態情形，移動部件30處于平衡狀態，圖1B為犧牲層釋放后的實際狀態，犧牲層釋放后移動部件30受重力作用發生旋轉。在某些場合需要制動器先釋放支撐犧牲層后再與需制動的元件鍵合，移動部件30的旋轉，影響后續元件鍵合。另外，參考圖2A和圖2B，圖2A理想狀態下被移動元件50向上移動的結構示意圖，圖2B為被移動元件50發生橫向移動的的結構示意圖，因此，如何解決上述兩個問題，是目前需要解決的課題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種壓電驅動器及其制造方法和成像模組，能夠解決犧牲層釋放后移動部件受重力作用發生旋轉和被驅動部件在向上或向下運動時發生水平移動的問題。

為了實現上述目的，本發明提供一種壓電驅動器，包括：

壓電元件，所述壓電元件包括可動端和固定端；

支撐塊，用于固定所述壓電元件的固定端；

移動部件，設置于所述壓電元件的可動端，所述移動部件設有滑槽，所述可動端至少部分伸入所述滑槽內，所述移動部件設有限位孔，所述限位孔沿所述壓電元件的翹曲方向延伸；

固定的導向桿，所述導向桿的至少一部分伸入所述限位孔，所述壓電元件在通電的狀態下，所述可動端能夠帶動所述移動部件相對于所述導向桿向上或向下移動。

本發明還提供了一種成像模組，包括上述的壓電驅動器，還包括被移動元件，所述被移動元件包括：透鏡組、成像傳感元件、光圈或透鏡片；

電連接端，與所述壓電驅動器電極連接。

本發明還提供了一種壓電驅動器的形成方法，包括：

提供第一襯底；

在所述第一襯底上形成支撐塊以及所述支撐塊圍成區域的第一犧牲層，在所述第一犧牲層上形成第二犧牲層，以及位于所述第二犧牲層中的所述移動部件的下半部分，所述移動部件的下半部分包括滑槽的底壁和滑槽側壁的下半部分；

提供壓電元件，包括可動端和固定端，將所述固定端鍵合在所述支撐塊上，所述可動端伸入所述滑槽；

在所述壓電元件上、所述第二犧牲層上形成第三犧牲層，以及位于所述犧牲層中的所述移動部件的上半部分，所述移動部件的上半部分包括滑槽側壁的上半部分和滑槽的頂壁；

在形成所述移動部件時或形成所述移動部件后，還包括：在所述移動部件中形成限位孔，以及在所述限位孔中形成導向桿；

形成完所述移動部件和所述導向桿后還包括：