[發明專利]一種用于MEMS器件的防塵結構及MEMS麥克風封裝結構在審
| 申請號： | 201911416451.2 | 申請日： | 2019-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN111163410A | 公開（公告）日： | 2020-05-15 |
| 發明（設計）人： | 林育菁;佐佐木寬充;畠山庸平 | 申請（專利權）人： | 歌爾股份有限公司 |
| 主分類號： | H04R19/00 | 分類號： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉專利代理事務所(特殊普通合伙) 11442 | 代理人： | 柳巖 |
| 地址： | 261031 山東省*** | 國省代碼： | 山東;37 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 mems 器件 防塵 結構 麥克風 封裝 | ||
1.一種用于MEMS器件的防塵結構，其特征在于，包括：
載體，所述載體呈柱狀框架結構，所述載體具有沿自身軸向設置的貫通的開口，所述載體的側壁具有弧形表面；
網格膜，所述網格膜具有固定連接區和透聲區，所述固定連接區環繞在所述透聲區周圍，所述固定連接區位于所述網格膜的邊緣；
所述網格膜設置在所述載體的端面上，所述透聲區與所述開口的位置對應。
2.根據權利要求1所述的防塵結構，其特征在于，所述載體呈多棱柱狀結構，所述載體的側壁在棱邊處形成有所述弧形表面。
3.根據權利要求2所述的防塵結構，其特征在于，所述載體呈四棱柱狀結構。
4.根據權利要求2所述的防塵結構，其特征在于，所述弧形表面由斜切倒角構成。
5.根據權利要求1所述的防塵結構，其特征在于，所述載體呈圓柱狀結構或橢圓柱狀結構，所述載體的側壁整體構成所述弧形表面。
6.根據權利要求1所述的防塵結構，其特征在于，所述透聲區采用隔離網制成，所述隔離網被配置為供聲音穿過。
7.根據權利要求6所述的防塵結構，其特征在于，所述隔離網為有機無紡布或金屬篩網。
8.根據權利要求1所述的防塵結構，其特征在于，所述網格膜具有緩沖區，所述緩沖區環繞在所述透聲區周圍，所述固定連接區環繞在所述緩沖區周圍；
所述緩沖區和所述透聲區與所述開口的位置對應。
9.根據權利要求8所述的防塵結構，其特征在于，所述緩沖區與所述固定連接區的材質相同。
10.一種MEMS麥克風封裝結構，其特征在于，包括：
設有容納腔的外殼，所述外殼上設有聲孔，所述聲孔將所述外殼的內部和外部連通；
麥克風器件，所述麥克風器件固定設置在所述外殼內；
權利要求1-9任意之一所述的防塵結構，所述載體與所述外殼固定連接；
所述網格膜封閉所述聲孔；和/或，所述網格膜間隔于所述聲孔與所述麥克風器件之間。
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