[發(fā)明專利]一種表貼集成電路切筋機(jī)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911401723.1 | 申請日: | 2019-12-31 |
| 公開(公告)號(hào): | CN111211070B | 公開(公告)日: | 2023-06-06 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 周恒;李陽;諶帥業(yè);蔡景洋;聶平健;周東;商登輝;房迪;劉思奇;劉金麗;李洪秀;張超超;李躍光 | 申請(專利權(quán))人: | 貴州振華風(fēng)光半導(dǎo)體股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67 |
| 代理公司: | 貴陽中工知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 52106 | 代理人: | 劉安寧 |
| 地址: | 550018 貴*** | 國省代碼: | 貴州;52 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 集成電路 切筋機(jī) | ||
1.一種表貼集成電路切筋機(jī),其特征在于該表貼集成電路切筋機(jī),由機(jī)械部分、探測部分、電控部分組成;機(jī)械部分包括靜切刀座、產(chǎn)品定位槽、靜切刀、靜切刀壓塊、動(dòng)切刀座、動(dòng)切刀、架構(gòu)基板、支柱、氣缸、電磁閥;探測部分包括光纖探頭、光纖聚焦鏡、光纖放大器;電控部分包括PLC編程控制器及其操作按鈕;
上述靜切刀、靜切刀壓塊及產(chǎn)品定位槽安裝在靜切刀座上,在靜切刀座的靜切刀槽位置安裝有左右兩邊的靜切刀;左右兩邊的靜切刀壓塊覆蓋于靜切刀上;
上述動(dòng)切刀安裝在動(dòng)切刀座上,動(dòng)切刀座固定在氣缸上,靜切刀座和氣缸均安裝在水平放置的基板上;
上述動(dòng)切刀水平放置,在水方向運(yùn)動(dòng);
上述產(chǎn)品定位槽下部有一擋塊,只有邊筋廢料能夠避開此擋塊,而表貼電路的腔體部分被此擋塊擋住不能下滑;
上述產(chǎn)品定位槽設(shè)計(jì)有擴(kuò)口;在靜切刀座放置有光纖探頭及光纖聚焦鏡;
上述光纖聚焦鏡用螺紋套在光纖探頭上;
上述光纖探頭通過光纖連接光纖放大器;
上述光纖放大器信號(hào)輸出端用電纜連接到PLC編程控制器的輸入端;?上述PLC編程控制器的輸出端連接機(jī)械部分的電磁閥;
上述電磁閥通斷電控制壓縮氣體通斷,壓縮氣體通斷推動(dòng)氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng),氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)帶動(dòng)切刀對表貼電路進(jìn)行邊筋切除和廢料分離,反之,當(dāng)表貼電路產(chǎn)品不存在時(shí),則機(jī)械部分不動(dòng)作。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





