[發(fā)明專利]一種單晶爐除塵過濾系統(tǒng)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911367050.2
• 申請日: 2019-12-26
• 公開（公告）號: CN111111333A
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 潘浩
• 申請（專利權(quán)）人: 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00;B01D46/48
• 代理公司: 西安嘉思特知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61230
• 代理人: 劉長春

1.一種單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，包括除塵罐主體(1)和真空泵組件，所述除塵罐主體(1)與單晶爐(2)連通，其中，

所述除塵罐主體(1)的內(nèi)部設(shè)置有過濾單元(3)，以過濾所述單晶爐(2)排放的氣體；所述除塵罐主體(1)的下端設(shè)置有用于排放雜質(zhì)顆粒(15)的排放口(6)；

所述真空泵組件包括：

抽真空管路(4)和設(shè)置在所述抽真空管路(4)上的真空泵(5)；

所述抽真空管路(4)與所述除塵罐主體(1)連通，所述真空泵組件用于在所述單晶爐(2)進(jìn)行拉晶時對所述除塵罐主體(1)內(nèi)腔進(jìn)行抽真空并在所述單晶爐(2)結(jié)束拉晶時對所述除塵罐主體(1)內(nèi)腔進(jìn)行吹氣。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述除塵罐主體(1)通過連接管路(7)與所述單晶爐(2)連通，并且所述連接管路(7)上設(shè)置有泄爆閥(8)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾單元(3)設(shè)置在所述除塵罐主體(1)的內(nèi)腔上部，并且所述連接管路(7)與所述除塵罐主體(1)連接處的開口方向朝向所述過濾單元(3)。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述連接管路(7)上還設(shè)置有單向逆止閥(9)，用于防止所述除塵罐主體(1)內(nèi)的氣體進(jìn)入所述單晶爐(2)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述抽真空管路(4)包括主管路(41)以及與所述主管路(41)連通的第一支管(42)和第二支管(43)，其中，所述真空泵(5)設(shè)置在所述主管路(41)上。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一支管(42)連接至所述除塵罐主體(1)的上端側(cè)壁，所述第一支管(42)上設(shè)置有第一閥門(10)；所述第二支管(43)連接至所述除塵罐主體(1)的下端側(cè)壁，所述第二支管(43)上設(shè)置有第二閥門(11)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述除塵罐主體(1)的下端側(cè)壁上開設(shè)有吹氣口(12)，所述第二支管(43)沿與所述除塵罐主體(1)外壁相切的方向與所述吹氣口(12)連接。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述除塵罐主體(1)的內(nèi)腔設(shè)置有螺旋狀引流板(13)，所述螺旋狀引流板(13)以螺旋盤繞的方式固定在所述除塵罐主體(1)的內(nèi)側(cè)壁，且所述螺旋狀引流板(13)的下端設(shè)置在所述吹氣口(12)的下側(cè)。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述過濾單元(3)包括多個豎向平行排列的面板型過濾網(wǎng)(31)，所述面板型過濾網(wǎng)(31)均固定至所述除塵罐主體(1)的內(nèi)側(cè)壁。

10.根據(jù)權(quán)利要求1至9中任一項所述的單晶爐除塵過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述排放口(6)處設(shè)置有排氣泵(14)。