[發明專利]LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置在審
| 申請號: | 201911347244.6 | 申請日: | 2019-12-24 |
| 公開(公告)號: | CN110931419A | 公開(公告)日: | 2020-03-27 |
| 發明(設計)人: | 狄建科;秦松;劉雪;胡斌 | 申請(專利權)人: | 蘇州展德自動化設備有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/683 | 分類號: | H01L21/683;H01L33/48 |
| 代理公司: | 江蘇圣典律師事務所 32237 | 代理人: | 王玉國 |
| 地址: | 215021 江*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | led 擴張 自動 抓取 壓裝裁切 裝置 | ||
本發明涉及LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,外環張緊機構包含轉軸和分度板,導向板連接于轉軸的底端,導向柱的上端連接于固定板上,下端連接壓板,分度板的中心孔配裝有軸承,軸承的內圈與轉軸配合,分度板內側凸設的圓臺部與壓板連接,分度板的上平面上沿周向設有多個徑向滑槽,每一徑向滑槽中配置一滑塊;導向板上沿周向設有多個腰形孔,腰形孔兩端的半圓弧的中心位于不同直徑的圓弧軌跡上,沿軸向安裝的導向銷穿過導向板上腰形孔和分度板上通孔,上端與滑塊的內側端連接,下端置于腰形孔中,轉軸帶動導向板轉動,推動腰形孔中的導向銷運動,帶動滑塊和弧形支撐板沿徑向滑動。實現對外環自動抓取張緊、外環壓裝及裁切膜等功能。
技術領域
本發明涉及一種LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置。
背景技術
LED晶片的生產過程中,LED晶片在劃片工藝完成后形成陣列排列的晶粒,陣列排列的晶粒貼附在晶片膜上,晶片膜上的晶粒排列非常緊密,不利于后續固晶工序的操作,因此在LED生產過程中必須對充當LED晶粒載體的晶片膜進行擴張,使得貼附在晶片膜上陣列排列的晶粒均勻擴張,為了使擴張后的晶粒間距在一定時間內保持不變,需要使用子母環(即內外環)將擴張后的晶片膜固定,并將多余的晶片膜(即廢膜)切除。
發明內容
本發明的目的是克服現有技術存在的不足,提供一種LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置。
本發明的目的通過以下技術方案來實現:
LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,特點是:包括外環張緊機構和外環壓裝裁切機構,所述外環張緊機構包含固定板、轉軸、分度板和導向板,安裝于固定板上的電機與轉軸驅動連接,導向板連接于轉軸的底端,導向柱的上端連接于固定板上,下端連接壓板,分度板位于壓板與導向板之間,分度板的中心孔配裝有軸承,軸承的內圈與轉軸配合,分度板內側凸設的圓臺部與壓板連接,分度板的上平面上沿周向設有多個徑向滑槽,每一徑向滑槽中配置一滑塊,滑塊位于分度板與壓板之間;導向板上沿周向設有多個腰形孔,腰形孔兩端的半圓弧的中心位于不同直徑的圓弧軌跡上,與腰形孔相對應的分度板上開設有通孔,沿軸向安裝的導向銷穿過導向板上腰形孔和分度板上通孔,上端與滑塊的內側端連接,下端置于腰形孔中,轉軸帶動導向板轉動,推動腰形孔中的導向銷運動,進而帶動滑塊沿徑向滑動,使滑塊外側端連接的弧形支撐板沿徑向運動;
所述外環壓裝裁切機構包含連接板、外環壓環以及沖裁刀,連接板位于壓板之上,安裝于固定板上的氣缸的活塞桿與連接板驅動連接,連接板的外側連接外環壓環,外環壓環的底端安裝有沖裁刀,氣缸可驅動外環壓環及沖裁刀運動。
進一步地,上述的LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,其中,固定板連接于支柱上,支柱固定于連接板上。
進一步地,上述的LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,其中,導向板上沿周向均勻間隔設有8個腰形孔,相對應地,分度板的上平面上沿周向均勻間隔設有8個徑向滑槽。
進一步地,上述的LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,其中,固定板上設有兩只導向柱,呈左右對稱分布。
進一步地,上述的LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,其中,固定板上安裝有兩只氣缸,呈左右對稱分布。
進一步地,上述的LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,其中,左右兩只氣缸的活塞桿通過浮動接頭與連接板驅動連接。
進一步地,上述的LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,其中,轉軸上套裝有傳感器遮片,與其正對的壓板上設置有傳感器。
進一步地,上述的LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,其中,連接板上設有供導向柱穿過的導向孔,導向孔中安裝有與導向柱配合的直線軸承。
進一步地,上述的LED晶圓擴張外環自動抓取及壓裝裁切裝置,其中,電機的主軸通過聯軸器與轉軸驅動連接。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





