[發(fā)明專利]化學(xué)氣相沉積增強(qiáng)水氧阻隔性能的可降解薄膜

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911337533.8
• 申請(qǐng)日: 2019-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN111073016A
• 公開（公告）日: 2020-04-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 林群
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京福仕保新材料有限公司
• 主分類號(hào): C08J7/06
• 分類號(hào): C08J7/06;C08J7/04;C23C16/40;C08L67/04;C08L69/00;C08L67/02;C08L3/02;C08L23/00;C08L27/06;C08L33/00
• 代理公司: 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 32102
• 代理人: 徐振興;姚姣陽

本發(fā)明公開了一種可降解并具有高水氧阻隔性能薄膜的化學(xué)氣相沉積的制備工藝，可適用于各種超薄和柔性電子器件，醫(yī)療，生物等的高性能水氧阻隔薄膜的大面積制備的要求，尤其通過低壓/常壓化學(xué)氣相沉積沉實(shí)現(xiàn)快速和大面積納米薄膜層與可降解薄膜相結(jié)合的制備與整合，實(shí)現(xiàn)了提高可降解薄膜水氧阻隔的功能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明屬于領(lǐng)域，特別涉及一種低壓或者常壓下化學(xué)氣相沉積增強(qiáng)水氧阻隔性能的可降解薄膜。

背景技術(shù)

隨著電子行業(yè)新材料，新技術(shù)，新產(chǎn)品的快速升級(jí)和更新，很多新穎的微電子器件出現(xiàn)在我們的生活中，其中包括快速發(fā)展的柔性電子產(chǎn)業(yè)，可印刷電子，機(jī)電子器件，生物電子，薄膜電子產(chǎn)業(yè)等。這些新型的產(chǎn)業(yè)改變著我們周圍的生活，工作，以及我們的未來。例如： 可折疊屏幕手機(jī)，曲面電視等顯示和固態(tài)照明，能源，探測(cè)器，筆記本，醫(yī)療器械，食品檢測(cè)基未來可穿戴領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。這些新型的技術(shù)擁有優(yōu)秀的，如超薄，光電特性，柔性等無與倫比的特性。將是很多未來，下一代電子，信息技術(shù)的核心或者關(guān)鍵技術(shù)。其發(fā)展得到了所有發(fā)達(dá)國家，國際公司的注重和大量投入。作為重要基礎(chǔ)材料之一的柔性，高水氧阻隔薄膜是重要發(fā)展項(xiàng)目之一，世界上只有少數(shù)幾家公司擁有前沿的技術(shù)。

我們?cè)诎l(fā)展新型薄膜封裝材料和技術(shù)的同時(shí)，不得不面對(duì)一個(gè)重要的的問題。電子垃圾，塑料垃圾已經(jīng)危害到我們整個(gè)地球，整個(gè)人類社會(huì)的發(fā)展和安定。在努力提高我們?nèi)祟惿钏剑夹g(shù)水平的基礎(chǔ)上，我們也要關(guān)注環(huán)境和環(huán)保，垃圾問題。不能為了發(fā)展一個(gè)新的技術(shù)，對(duì)環(huán)境，對(duì)生態(tài)造成危害，其社會(huì)效益和經(jīng)濟(jì)效益都會(huì)大打折扣。而作為現(xiàn)階段封裝薄膜領(lǐng)域，就面對(duì)這種兩難的困境，一方面高性能的水氧阻隔薄膜很難被自然界降解，又和電子產(chǎn)品相整合。變成了一個(gè)難回收和利用，對(duì)環(huán)境危害較大的新產(chǎn)品。

隨著很多生物和材料工業(yè)的發(fā)張，可生物降解或者對(duì)環(huán)境有好的塑料，薄膜材料正在被開發(fā)出來，并且開始應(yīng)用我們的生活中。用來取代現(xiàn)有的不可降解，危害環(huán)境的的塑料制品。那么是否可以應(yīng)用這些材料和薄膜，開發(fā)出新型的高水氧阻隔薄膜。同時(shí)具有滿足封裝高要求的水氧阻隔性能，同時(shí)又是可降解，對(duì)環(huán)境和可回收的封裝雙優(yōu)勢(shì)。這就需要在原有的技術(shù)上升級(jí)和開發(fā)新型工藝和技術(shù)來解決問題。首先，相比較傳統(tǒng)塑料薄膜。可降解薄膜在物理性能上和水氧阻隔性能上就處在劣勢(shì)。相比較在傳統(tǒng)塑料薄膜的高水氧阻隔技術(shù)就需要進(jìn)一步改進(jìn)和優(yōu)化。例如可降解材料纖維過大，薄膜不均勻，表面厚度分散，薄膜中空間大，溫度不易過高等問題。

公開于該背景技術(shù)部分的信息僅僅旨在增加對(duì)本發(fā)明的總體背景的理解，而不應(yīng)當(dāng)被視為承認(rèn)或以任何形式暗示該信息構(gòu)成已為本領(lǐng)域一般技術(shù)人員所公知的現(xiàn)有技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種在可降解薄膜上依靠低成本，高效低壓/常壓化學(xué)氣相沉積制備高致密納米層，（或者其上的UV丙烯酸樹脂保護(hù)層）從而獲得一種新型高水氧阻隔的可降解封裝薄膜。，從而克服上述現(xiàn)有 技術(shù)中的缺陷。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供了一種化學(xué)氣相沉積增強(qiáng)水氧阻隔性能的可降解薄膜，包括可降解薄膜和通過化學(xué)氣相沉積在可降解薄膜上的致密氧化層。