[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體芯片測試卡控溫系統(tǒng)及其工作方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911333707.3 | 申請日： | 2019-12-23 |
| 公開（公告）號： | CN111044881A | 公開（公告）日： | 2020-04-21 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 楊勇 | 申請（專利權(quán)）人： | 深圳市美浦森半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | G01R31/28 | 分類號： | G01R31/28;G01R1/44 |
| 代理公司： | 北京輕創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212 | 代理人： | 王歡 |
| 地址： | 518000 廣東省深圳市南山區(qū)招*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 半導(dǎo)體 芯片 測試 卡控溫 系統(tǒng) 及其 工作 方法 | ||
本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體芯片測試卡控溫系統(tǒng)及其工作方法，包括測試底板，所述測試底板的上表面開設(shè)有與測試卡相配合的凹槽，所述測試底板的下表面固定連接有安裝框，所述安裝框內(nèi)通過夾緊裝置夾緊有散熱風(fēng)扇，所述散熱風(fēng)扇的下端固定連接有支撐框；所述夾緊裝置包括對稱設(shè)置在安裝框內(nèi)的夾緊板，所述安裝框內(nèi)通過移動機構(gòu)連接有移動板，所述夾緊板固定連接在移動板的側(cè)壁上，所述移動板的頂端傾斜固定連接有推動板，所述推動板的上表面滑動連接有推桿，所述推桿的頂端固定連接有活動板，所述活動板的上表面固定連接有堵塊，本發(fā)明便于實現(xiàn)對測試卡的散熱降溫，便于測試卡的工作。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片控溫技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種半導(dǎo)體芯片測試卡控溫系統(tǒng)及其工作方法。
背景技術(shù)
在基本測試配置中，待測試的半導(dǎo)體芯片被加載到處置器中，配置來測試芯片的測試頭被安裝到處置器或以其他方式與處置器連接，并且處置器一次將一個或多個芯片遞送或塞入到測試頭上以執(zhí)行測試操作。半導(dǎo)體芯片可包括射頻(RF)接口。測試過程可包括將半導(dǎo)體芯片加熱或冷卻到期望的測試溫度。在常規(guī)的測試配置中，必須為每個特定的處置器和每個待測試芯片設(shè)計定制生產(chǎn)測試硬件，也稱為被測器件(DUT)。
然而現(xiàn)有的半導(dǎo)體芯片測試卡控溫系統(tǒng)一般不便實現(xiàn)對測試卡的散熱，測試卡在工作時會在局部積累較多的熱量，因此熱量在測試卡上長時間積累時會影響其使用性能。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體芯片測試卡控溫系統(tǒng)及其工作方法，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。
為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：
一種半導(dǎo)體芯片測試卡控溫系統(tǒng)及其工作方法，包括測試底板，所述測試底板的上表面開設(shè)有與測試卡相配合的凹槽，所述測試底板的下表面固定連接有安裝框，所述安裝框內(nèi)通過夾緊裝置夾緊有散熱風(fēng)扇，所述散熱風(fēng)扇的下端固定連接有支撐框；
所述夾緊裝置包括對稱設(shè)置在安裝框內(nèi)的夾緊板，所述安裝框內(nèi)通過移動機構(gòu)連接有移動板，所述夾緊板固定連接在移動板的側(cè)壁上，所述移動板的頂端傾斜固定連接有推動板，所述推動板的上表面滑動連接有推桿，所述推桿的頂端固定連接有活動板，所述活動板的上表面固定連接有堵塊，所述安裝框的頂端面開設(shè)有與堵塊相配合的散熱孔，所述活動板上開設(shè)有散熱開孔。
作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述安裝框的側(cè)壁上開設(shè)有開口，便于將散熱風(fēng)扇和支撐框從開口放入安裝框內(nèi)；
所述夾緊板和移動板之間通過連接桿固定連接。
作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述移動機構(gòu)包括兩個螺紋旋向相反設(shè)置的螺紋桿，所述螺紋桿轉(zhuǎn)動連接在安裝框下方的側(cè)板上，兩個所述螺紋桿之間通過圓柱塊固定連接，所述移動板與螺紋桿螺紋連接，工作人員手動轉(zhuǎn)動圓柱塊，在圓柱塊移動板轉(zhuǎn)動的過程中實現(xiàn)兩個螺紋桿轉(zhuǎn)動連接，在螺紋桿轉(zhuǎn)動的過程中實現(xiàn)兩塊夾緊板相向移動，在夾緊板相向移動的過程中直至夾緊板將放置在安裝框內(nèi)的散熱風(fēng)扇和支撐框夾緊。
作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述安裝框的底板上開設(shè)有用于移動板穿過的通孔，所述通孔的側(cè)壁上開設(shè)有第一滑槽，所述第一滑槽內(nèi)滑動連接有與移動板固定連接的第一滑塊，通過第一滑槽和第一滑塊的設(shè)置便于實現(xiàn)移動板在通孔內(nèi)移動。
作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述推動板的上表面傾斜開設(shè)有第二滑槽，所述第二滑槽內(nèi)滑動連接有與推桿底端固定連接的第二滑塊，第二滑塊和第二滑槽的設(shè)置便于實現(xiàn)推桿在推動板的上方移動。
作為本發(fā)明進(jìn)一步的方案：所述安裝框的側(cè)壁上開設(shè)有用于活動板滑動連接的第三滑槽；
所述堵塊與活動板之間通過固定桿固定連接。
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