[發(fā)明專利]一種晶圓鍵合機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911302743.3
• 申請日: 2019-12-17
• 公開（公告）號: CN111048450A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發(fā)明（設計）人: 謝永寧
• 申請（專利權(quán)）人: 泉州圓創(chuàng)機械技術(shù)開發(fā)有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/18
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種晶圓鍵合機，其結(jié)構(gòu)包括鍵合壓力裝置(1)、立柱(2)、操作臺(3)、液泵(4)、液箱(5)、鍵合定位裝置(6)、集塵箱(7)、氣泵(8)，其特征在于：

所述的操作臺(3)內(nèi)部由左至右設有液箱(5)和集塵箱(7)，所述的液箱(5)一側(cè)設有液泵(4)，所述的集塵箱(7)一側(cè)設有氣泵(8)，所述的操作臺(3)頂部設有鍵合定位裝置(6)，所述的操作臺(3)后端設有立柱(2)，所述的鍵合定位裝置(6)正上方設有鍵合壓力裝置(1)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓鍵合機，其特征在于：所述的鍵合壓力裝置(1)由壓力油缸(11)、伺服缸(12)、晶圓壓力機構(gòu)(13)、滑桿(14)、電機(15)組成，所述的晶圓壓力機構(gòu)(13)頂部設有電機(15)，所述的電機(15)頂部設有壓力油缸(11)，所述的壓力油缸(11)兩側(cè)設有伺服缸(12)，所述的晶圓壓力機構(gòu)(13)上設有滑桿(14)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種晶圓鍵合機，其特征在于：所述的晶圓壓力機構(gòu)(13)由主動齒輪盤(13a)、吸盤(13b)、左晶圓限位架(13c)、框架(13d)、右晶圓限位架(13e)組成，所述的框架(13d)中心位置設有主動齒輪盤(13a)，所述的框架(13d)兩側(cè)設有左晶圓限位架(13c)和右晶圓限位架(13e)，所述的框架(13d)底部設有吸盤(13b)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種晶圓鍵合機，其特征在于：所述的左晶圓限位架(13c)由限位板(13c1)、主動滑桿(13c2)、主動齒條(13c3)、從動滑桿(13c4)組成，所述的限位板(13c1)頂部設有主動滑桿(13c2)和從動滑桿(13c4)，所述的主動滑桿(13c2)一端設有主動齒條(13c3)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶圓鍵合機，其特征在于：所述的鍵合定位裝置(6)由清潔環(huán)筒(61)、液環(huán)(62)、晶圓臺(63)、液管(64)、液孔(65)組成，所述的清潔環(huán)筒(61)內(nèi)部設有晶圓臺(63)，所述的晶圓臺(63)頂部設有液環(huán)(62)，所述的液環(huán)(62)內(nèi)圈上設有液孔(65)，所述的液環(huán)(62)外圈上設有液管(64)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種晶圓鍵合機，其特征在于：所述的清潔環(huán)筒(61)由風嘴(61a)、風管(61b)、限位環(huán)筒(61c)、風孔(61e)、密閉墊板(61f)組成，所述的限位環(huán)筒(61c)內(nèi)圈上設有密閉墊板(61f)，所述的密閉墊板(61f)頂部分布有風孔(61e)，所述的密閉墊板(61f)上方設有風管(61b)，所述的風管(61b)前端設有風嘴(61a)。