[發明專利]柔性曲面電子膜非接觸式高精度共形貼合頭

在審

• 申請號: 201911275201.1
• 申請日: 2019-12-12
• 公開（公告）號: CN111050474A
• 公開（公告）日: 2020-04-21
• 發明（設計）人: 李緊英
• 申請（專利權）人: 荊門微田智能科技有限公司
• 主分類號: H05K3/00
• 分類號: H05K3/00;G01B11/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種柔性曲面電子膜非接觸式高精度共形貼合頭，其特征在于：其特征在于：其特征在于：（1）（1）（1）包括基座（1）以及多組共形貼合頭組件；

每組共形貼合頭組件均包括穿設于基座（1）內的拉桿（2）以及用于驅動拉桿（2）在基座（1）內升降的驅動件（11）；所述驅動件（11）設于基座（1）內；所述拉桿（2）的一端與驅動件（11）連接；所述拉桿（2）的另一端突審出基座（1）的一端；每組共形貼合頭組件還包括設于基座（1）另一端的傳感器（31）；所述傳感器（31）與驅動件（11）電性連接；

所述拉桿（2）的另一端突審出基座（1）的一端后連接有靜電吸附膜（4）；所述靜電吸附膜（4）與拉桿（2）之間設有支撐機構。

2.根據權利要求1所述的一種柔性曲面電子膜非接觸式高精度共形貼合頭，其特征在于：所述驅動件（11）為直線電機；所述直線電機的輸出端與拉桿（2）的一端連接;所述基座（1）的另一端設有安裝座（3）；所述傳感器（31）設于安裝座（3）內；所述傳感器（31）為光電傳感器;所述基座（1）內設有導向制動套（12）；所述導向制動套（12）套設于拉桿（2）外。

3.根據權利要求1所述的一種柔性曲面電子膜非接觸式高精度共形貼合頭，其特征在于：所述拉桿（2）另一端的端部設有與靜電吸附膜（4）的連接部（21）。

4.根據權利要求1所述的一種柔性曲面電子膜非接觸式高精度共形貼合頭，其特征在于：所述靜電吸附膜（4）為高壓靜電吸附膜。

5.根據權利要求1所述的一種柔性曲面電子膜非接觸式高精度共形貼合頭，其特征在于：所述支撐機構包括支撐爪（5）以及套設于拉桿（2）另一端的膜片彈簧（6）；所述支撐爪（5）的一端與拉桿（2）的另一端鉸接；所述支撐爪（5）上設有定位槽（51）；所述膜片彈簧（6）延伸有彈簧腳（61）；所述彈簧腳（61）設于定位槽（51）內；所述彈簧腳（61）與支撐爪（5）的另一端連接。

6.根據權利要求5所述的一種柔性曲面電子膜非接觸式高精度共形貼合頭，其特征在于：所述支撐爪（5）的數量為四個；四個支撐爪（5）等間距設于拉桿（2）的四周。

7.根據權利要求5所述的一種柔性曲面電子膜非接觸式高精度共形貼合頭，其特征在于：所述支撐爪（5）的數量為四個；四個支撐爪（5）等間距設于拉桿（2）的四周。