[發明專利]一種有效提高鈦合金耐應力腐蝕性能的方法

有效

• 申請號: 201911239110.2
• 申請日: 2019-12-06
• 公開（公告）號: CN110886001B
• 公開（公告）日: 2020-10-27
• 發明（設計）人: 徐照英;胡卿卿;鄧川寧
• 申請（專利權）人: 重慶文理學院
• 主分類號: C25D11/26
• 分類號: C25D11/26;C23C14/35;C23C14/16
• 代理公司: 重慶晶智匯知識產權代理事務所(普通合伙) 50229
• 代理人: 李靖

1.一種有效提高鈦合金耐應力腐蝕性能的方法，其特征在于：它首先對α-Ti合金試樣進行陽極氧化處理，然后再通過磁控濺射將Pd、Mo與Ti濺射在試樣上，形成含有Pd與Mo的Mo-Pd-Ti的復合層；具體步驟如下：

a、對試樣進行選取及預處理：選取待處理的α-Ti合金，并制成塊狀試樣；再進行打磨、拋光；然后再利用除油液脫脂，最后進行去離子水清洗；

b、將經過預處理后的α-Ti合金試樣轉移到陽極氧化槽中、配置陽極氧化處理液進行陽極氧化處理；

c、陽極氧化后不進行封孔處理，立即進行清洗、吹干，然后馬上放進真空室（15）的樣品臺（11）上；

d、采用可同時進行三靶濺射的中頻磁控濺射裝置與直流磁控濺射裝置（9）組成的系統，利用機械泵（2）和分子泵（1）抽真空至5×10^-3Pa，送入氬氣，開啟霍爾離子源系統（3）對基體濺射清洗15-25min，偏壓為450-550V；

e、濺射沉積含有Pd與Mo的Mo-Pd-Ti的復合層；

f、濺射完成后，取樣包裝，放入干燥皿中；

所述步驟b中的陽極氧化處理具體為通入45-55V電壓對試樣進行陽極氧化處理20~30min，直到試樣表面顏色發生改變。

2.根據權利要求1所述的一種有效提高鈦合金耐應力腐蝕性能的方法，其特征在于：所述步驟a中的除油液為NaOH、Na₃PO₄、Na₂CO₃的混合溶液，其體積比為3.5~4.5:4~5:2.5~3.5。

3.根據權利要求2所述的一種有效提高鈦合金耐應力腐蝕性能的方法，其特征在于：所述步驟d中氬氣的氣體流量為85-95sccm。

4.根據權利要求3所述的一種有效提高鈦合金耐應力腐蝕性能的方法，其特征在于：所述步驟 e具體為：在真空室（15）內通入氬氣，流量為50-70sccm，打開直流磁控濺射裝置（9）的控制電源，以純度99.99%的金屬鈦靶為陰極，打開中頻磁控濺射裝置的控制電源，以純度99.99%的Mo靶、純度99.99%的Pd靶為陰極，通過裝置調節沉積氣壓為0.4-0.6Pa，控制電源功率為550-650V，負偏壓為450-550V，處理時間為35-50min，得到含有Pd與Mo的Mo-Pd-Ti的復合層，關閉直流磁控濺射裝置（9）和中頻磁控濺射裝置的控制電源。

5.根據權利要求4所述的一種有效提高鈦合金耐應力腐蝕性能的方法，其特征在于：所述Mo-Pd-Ti復合層的總厚度為580-620nm。