[發(fā)明專利]一種振動隔離裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911211537.1
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN111059208B
• 公開（公告）日: 2022-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 陳進新;李璟;齊月靜;齊威;徐天偉;魏志國
• 申請（專利權(quán)）人: 中國科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號: F16F15/03
• 分類號: F16F15/03;F16F15/04;G03F7/20
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 王中葦

1.一種振動隔離裝置，包括：真空腔體(1)、所述真空腔體(1)內(nèi)設(shè)有主基板(2)，所述真空腔體(1)的一內(nèi)壁與所述主基板(2)之間設(shè)有至少一個隔振系統(tǒng)(3)；

所述隔振系統(tǒng)(3)包括：永磁體(31)、設(shè)置有線圈(32)的線圈架(33)、主彈簧(34)、隔板(35)以及隔板彈簧(36)；

所述永磁體(31)的一端連接所述主基板(2)，所述線圈架(33)一端固定在所述隔板(35)上，所述永磁體(31)的部分或全部置于所述線圈架(33)內(nèi)部，所述線圈架(33)與所述永磁體(31)之間的相對位置可調(diào)；

所述主基板(2)、所述主彈簧(34)、所述隔板(35)、所述隔板彈簧(36)以及所述真空腔體(1)依次連接；

其中，所述線圈架(33)為金屬線圈架；所述隔板(35)靠近所述隔板彈簧(36)的一側(cè)表面設(shè)置冷板；或者所述隔板(35)內(nèi)部與所述線圈架(33)具有一連接通道，所述連接通道內(nèi)設(shè)置有散熱管道；所述隔板(35)設(shè)置有螺紋孔，所述隔振系統(tǒng)(3)還包括：螺紋桿(37)以及電機(38)；所述螺紋桿(37)的尺寸與所述螺紋孔的尺寸對應(yīng)，且能夠穿過所述螺紋孔；

所述隔板(35)、所述螺紋桿(37)、所述電機(38)以及所述真空腔體(1)依次連接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離裝置，其中，所述永磁體(31)為空心柱體結(jié)構(gòu)，所述主彈簧(34)設(shè)置于所述永磁體(31)內(nèi)部且與所述永磁體(31)內(nèi)壁保持一預(yù)設(shè)距離。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離裝置，其中，所述永磁體(31)為實心柱體結(jié)構(gòu)，所述主彈簧(34)設(shè)置于所述設(shè)置有線圈(32)的線圈架(33)之外。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離裝置，其中，所述線圈架(33)與所述永磁體(31)之間的相對位置可調(diào)，包括：

通過所述隔板彈簧(36)調(diào)節(jié)所述隔板(35)的高度，改變所述線圈架(33)的高度，進而改變所述永磁體(31)置入所述線圈架(33)的體積。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離裝置，其中，所述真空腔體(1)上固定有至少一個的圓長桿，所述隔板(35)上設(shè)置有至少一個的通孔，所述圓長桿穿過所述通孔。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離裝置，其中，所述主基板(2)以及所述真空腔體(1)上設(shè)置有振動傳感器。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的隔離裝置，其中，所述線圈架(33)的另一端不與所述主基板(2)接觸。