[發(fā)明專利]一種晶圓傳送葉片

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911206763.0
• 申請(qǐng)日: 2019-11-29
• 公開（公告）號(hào): CN110911325A
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉凱;金柱炫;俎世琦
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 西安奕斯偉硅片技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/677
• 分類號(hào): H01L21/677
• 代理公司: 西安嘉思特知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 61230
• 代理人: 劉長(zhǎng)春

1.一種晶圓傳送葉片，其特征在于，包括：基部、第一分支、第二分支、第三分支和第四分支，其中，

所述第一分支自所述基部的第一部位向遠(yuǎn)離所述基部的第一方向延伸；

所述第二分支自所述基部的第二部位向遠(yuǎn)離所述基部的第二方向延伸，且所述第一分支的延伸端與所述第二分支的延伸端相交；

所述第一方向與所述第二方向不同；

所述第三分支自所述第一分支和所述第二分支的相交處向遠(yuǎn)離所述基部的第三方向延伸；

所述第四分支自所述第一分支和所述第二分支的相交處向遠(yuǎn)離所述基部的第四方向延伸。

2.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送葉片，其特征在于，所述第一分支與所述第二分支沿所述基部的對(duì)稱軸對(duì)稱分布。

3.如權(quán)利要求1或2所述的晶圓傳送葉片，其特征在于，所述第三分支與所述第四分支沿所述基部的對(duì)稱軸對(duì)稱分布。

4.如權(quán)利要求3所述的晶圓傳送葉片，其特征在于，所述第三分支自所述第二分支和所述第一分支的相交處沿所述第二方向延伸，所述第四分支自所述第二分支和所述第一分支的相交處沿所述第一方向延伸。

5.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送葉片，其特征在于，所述第一分支的內(nèi)邊緣與外邊緣之間的寬度隨其延伸方向逐漸增大，所述第二分支的內(nèi)邊緣與外邊緣之間的寬度隨其延伸方向逐漸增大，所述第三分支的內(nèi)邊緣與外邊緣之間的寬度隨其延伸方向逐漸減小，所述第四分支的內(nèi)邊緣與外邊緣之間的寬度隨其延伸方向逐漸減小。

6.如權(quán)利要求5所述的晶圓傳送葉片，其特征在于，所述第一分支遠(yuǎn)離所述第二分支和所述第一分支的相交處的端部的寬度、所述第二分支遠(yuǎn)離所述第二分支和所述第一分支的相交處的端部的寬度、所述第三分支遠(yuǎn)離所述第二分支和所述第一分支的相交處的端部的寬度、所述第四分支遠(yuǎn)離所述第二分支和所述第一分支的相交處的端部的寬度均為25～40mm。

7.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送葉片，其特征在于，所述第一分支的長(zhǎng)度、所述第二分支的長(zhǎng)度、所述第三分支的長(zhǎng)度和所述第四分支的長(zhǎng)度均相等。

8.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送葉片，其特征在于，所述第一分支的內(nèi)邊緣與所述第二分支的內(nèi)邊緣之間的夾角為40～50°。

9.如權(quán)利要求1所述的晶圓傳送葉片，其特征在于，還包括過(guò)渡部，所述過(guò)渡部設(shè)置于所述第一分支、所述第二分支、所述第三分支和所述第四分支的相交處。

10.如權(quán)利要求9所述的晶圓傳送葉片，其特征在于，所述過(guò)渡部的寬度為45～65mm。