[發明專利]一種多功能晶圓夾具

在審

• 申請號: 201911201145.7
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN110943028A
• 公開（公告）日: 2020-03-31
• 發明（設計）人: 孔劍;徐晨晨;欒亦雄
• 申請（專利權）人: 浙江大學昆山創新中心
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687
• 代理公司: 南京縱橫知識產權代理有限公司 32224
• 代理人: 董建林

1.一種多功能晶圓夾具，其特征在于，包括轉動連接的第一盒體和第二盒體，所述第一盒體與第二盒體內均設有存儲腔和安裝于所述存儲腔內的一對晶圓夾鉤，所述晶圓夾鉤能夠從所述存儲腔中伸出，所述晶圓夾鉤包括方向能夠調節的鉤體。

2.根據權利要求1所述的多功能晶圓夾具，其特征在于，所述存儲腔呈開放式，所述晶圓夾鉤還包括與所述鉤體轉動相連的第一連接桿以及與第一連接桿轉動相連的連接柱。

3.根據權利要求2所述的多功能晶圓夾具，其特征在于，所述連接柱通過旋轉柱安裝于所述存儲腔內，所述旋轉柱的轉動角度為0-30°。

4.根據權利要求3所述的多功能晶圓夾具，其特征在于，所述連接柱中央設有通孔，所述第一連接桿固接有凹形的旋轉支架，所述旋轉支架上設有貫穿所述通孔的中心軸，所述中心軸的外徑小于所述通孔的直徑。

5.根據權利要求1所述的多功能晶圓夾具，其特征在于，所述存儲腔設于所述第一盒體和第二盒體的內部且端部開口，所述第一盒體和第二盒體表面均設有滑槽；所述晶圓夾鉤還包括與所述鉤體轉動相連的第二連接桿以及與第二連接桿固接的滑動組件，所述滑動組件能夠沿所述滑槽滑動。

6.根據權利要求5所述的多功能晶圓夾具，其特征在于，所述滑動組件包括滑塊、貫穿滑塊的限位柱以及與限位柱固定連接的推塊，所述推塊位于所述滑槽的外部，所述限位柱穿過所述滑槽且能夠相對所述滑槽滑動，所述滑塊設于所述存儲腔內。

7.根據權利要求6所述的多功能晶圓夾具，其特征在于，所述限位柱能夠相對所述滑塊移動，所述存儲腔相對滑槽的一側內壁設有能夠卡合限位柱的兩個限位槽，兩個所述限位槽對應所述滑槽的兩端。

8.根據權利要求1所述的多功能晶圓夾具，其特征在于，所述存儲腔設于所述第一盒體和第二盒體的內部且兩側面開口，所述存儲腔的端部設有一對立柱；所述晶圓夾鉤還包括與所述鉤體轉動相連的第三連接桿以及與第三連接桿固接的套筒，所述套筒套于所述立柱外部且能夠相對所述立柱轉動。

9.根據權利要求1-8中任一項所述的多功能晶圓夾具，其特征在于，所述第一盒體和第二盒體通過鎖定組件實現相對固定，所述鎖定組件包括通過轉軸分別與第一盒體和第二盒體轉動相連的鎖定殼和鎖定塊；所述鎖定殼包括鎖定腔以及位于鎖定腔兩側的周期性分布的卡槽，所述鎖定塊能夠在鎖定腔中滑動，所述鎖定塊的端部設有能夠與所述卡槽相卡合的彈性卡塊。

10.根據權利要求1-8中任一項所述的多功能晶圓夾具，其特征在于，所述第一盒體側面設有刀片存放腔，所述刀片存放腔內安裝有能夠轉動伸出的刀片。