[發明專利]一種碲化鉍基合金薄膜-鈣鈦礦型氧化物異質結復合熱電材料及其制備與應用在審
| 申請號： | 201911195554.0 | 申請日： | 2019-11-28 |
| 公開（公告）號： | CN112864300A | 公開（公告）日： | 2021-05-28 |
| 發明（設計）人： | 姜鵬;萬雪穎;包信和 | 申請（專利權）人： | 中國科學院大連化學物理研究所 |
| 主分類號： | H01L35/16 | 分類號： | H01L35/16;H01L35/22;H01L35/34;C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 大連東方專利代理有限責任公司 21212 | 代理人： | 毛薇;李馨 |
| 地址： | 116000 遼寧*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 碲化鉍基 合金 薄膜 鈣鈦礦型 氧化物 異質結 復合 熱電 材料 及其 制備 應用 | ||
1.一種復合熱電材料，其特征在于：所述復合熱電材料包括碲化鉍基合金薄膜和鈣鈦礦型氧化物；所述碲化鉍基合金薄膜和鈣鈦礦型氧化物復合形成異質結結構。
2.根據權利要求1所述的復合熱電材料，其特征在于，所述鈣鈦礦型氧化物的通式為ABO3，A為堿金屬元素或稀土元素；B為過渡金屬元素。
3.根據權利要求2所述的復合熱電材料，其特征在于，所述A為Sr、Ba、Ca或La；所述B為Ti、Mn或Co。
4.根據權利要求1所述的復合熱電材料，其特征在于，所述鈣鈦礦型氧化物為SrTiO3、BaTiO3、LaMnO3。
5.根據權利要求1所述的復合熱電材料，其特征在于，所述碲化鉍基合金薄膜的厚度為1-2000nm。
6.根據權利要求1所述的復合熱電材料，其特征在于，所述碲化鉍基合金為p型BixSb2-xTe3或n型Bi2Te3-ySey；0≤x≤2；0＜y≤3。
7.一種權利要求1所述的復合熱電材料的制備方法，其特征在于，包括如下步驟：
(1)鈣鈦礦型氧化物作為襯底，于700-1200℃，H2氣氛下退火處理1-12h；
(2)將經過步驟(1)處理后的鈣鈦礦型氧化物表面用磁控濺射的方法生長所述碲化鉍基合金薄膜，得到所述的復合熱電材料。
8.根據權利要求7所述的制備方法，其特征在于，
當所述碲化鉍基合金薄膜為p型BixSb2-xTe3薄膜：采用商用BixSb2-xTe3靶材和Te靶材共濺射，BixSb2-xTe3靶材采用直流電源，Te靶材采用射頻電源，加熱基底溫度為100-350℃；
當所述碲化鉍基合金薄膜為n型Bi2Te3-ySey薄膜：采用商用Bi2Te3-ySey靶材和Te靶材共濺射，Bi2Te3-ySey采用直流電源，Te靶材采用射頻電源，加熱基底溫度為100-350℃。
9.一種薄膜熱電器件，其特征在于，包括權利要求1-6任意一項所述的復合熱電材料。
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