[發(fā)明專利]版圖優(yōu)化方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911193288.8
• 申請(qǐng)日: 2019-11-28
• 公開（公告）號(hào): CN110929470B
• 公開（公告）日: 2023-08-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 宋康;陳翰;張辰明
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海華力微電子有限公司
• 主分類號(hào): G06F30/392
• 分類號(hào): G06F30/392
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 曹廷廷

本發(fā)明提供了一種版圖優(yōu)化方法，包括：加入多個(gè)亞分辨率輔助圖形形成版圖圖形；將版圖圖形拆分成多個(gè)區(qū)域；獲得每個(gè)亞分辨率輔助圖形的坐標(biāo)信息；建立亞分辨率輔助圖形的坐標(biāo)信息與多個(gè)方向上的光強(qiáng)度的分布曲線；得到每個(gè)亞分辨率輔助圖形的寬度，同時(shí)獲得每個(gè)亞分辨率輔助圖形的主導(dǎo)因子；得到亞分辨率輔助圖形的寬度的最優(yōu)尺寸；以最優(yōu)尺寸的寬度對(duì)應(yīng)的亞分辨率輔助圖形作為參考，將其他亞分辨率輔助圖形的寬度進(jìn)行擴(kuò)大或縮小動(dòng)作，得到優(yōu)化后的亞分辨率輔助圖形；將多個(gè)區(qū)域的優(yōu)化后的亞分辨率輔助圖形進(jìn)行拼接；篩選尺寸小于設(shè)定值的優(yōu)化后的亞分辨率輔助圖形，得到優(yōu)化后的版圖圖形。優(yōu)化了亞分辨率輔助圖形，最終優(yōu)化了版圖圖形。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其是涉及一種版圖優(yōu)化方法。

背景技術(shù)

目前常用的亞分辨率輔助圖形(SRAF)即為傳統(tǒng)的添加方法有兩種：Rule?based和Model?based，這里主要講述Model?based?SRAF，其計(jì)算出Machine?Learning(機(jī)器學(xué)習(xí))認(rèn)為最合理SRAF添加位置；SRAF寬度以及SRAF圖形之間的空間，但在實(shí)際添加過程中，版圖中各個(gè)目標(biāo)圖形所處的光學(xué)環(huán)境復(fù)雜，造成了許多雜亂無章的冗余輔助圖形，其在實(shí)際曝光中并沒有顯現(xiàn)出相應(yīng)的優(yōu)化效果，并且當(dāng)尺寸不合理時(shí)，有可能造成額外印刷風(fēng)險(xiǎn)，最終對(duì)后續(xù)光罩制作造成了極大的挑戰(zhàn)。

Rule?based?SRAF因其運(yùn)行時(shí)間短且容易掌控，應(yīng)用較為廣泛，然而環(huán)境較為復(fù)雜的2D圖形，Rule?based?SRAF需要做大量分批測(cè)試工作才可制定出合理的SRAF添加規(guī)則；然而Model?based?SRAF可以通過輔助框定SRAF生成位置，同時(shí)通過生成SRAF圖像。相比Rulebased?SRAF,Model?based?SRAF綜合考慮目標(biāo)圖形周圍的光學(xué)環(huán)境因素和可操作性運(yùn)算。Model?based?SRAF雖然有著自身的優(yōu)點(diǎn)，但是它的缺點(diǎn)同樣明顯，其考慮目標(biāo)圖形光學(xué)方面影響因素，造成SRAF生成運(yùn)算耗時(shí)長。生成后的SRAF，存在無法制造的工藝問題，例如，尺寸太小且實(shí)際圖形增強(qiáng)效果不顯著。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種版圖優(yōu)化方法，可以優(yōu)化亞分辨率輔助圖形，最終優(yōu)化了版圖圖形，降低了版圖圖形復(fù)雜度，改善光罩的可制造性,最終達(dá)到工藝生產(chǎn)要求。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供了一種版圖優(yōu)化方法，包括：

S11：輸入器件結(jié)構(gòu)圖形，在所述器件結(jié)構(gòu)圖形中加入多個(gè)亞分辨率輔助圖形形成版圖圖形；

S12：將所述版圖圖形拆分成多個(gè)區(qū)域；

S13：選取一個(gè)區(qū)域，獲得每個(gè)亞分辨率輔助圖形的坐標(biāo)信息；

S14：建立亞分辨率輔助圖形的坐標(biāo)信息與多個(gè)方向上的光強(qiáng)度的分布曲線；

S15：得到每個(gè)亞分辨率輔助圖形的寬度，同時(shí)獲得每個(gè)亞分辨率輔助圖形的主導(dǎo)因子；

S16：比對(duì)主導(dǎo)因子的大小，得到亞分辨率輔助圖形的寬度的最優(yōu)尺寸；

S17：以最優(yōu)尺寸的寬度對(duì)應(yīng)的亞分辨率輔助圖形作為參考，將與所述最優(yōu)尺寸的寬度對(duì)應(yīng)的亞分辨率輔助圖形的相同光強(qiáng)度方向上的相同間距的其他亞分辨率輔助圖形的寬度進(jìn)行擴(kuò)大或縮小動(dòng)作，使得其他亞分辨率輔助圖形的寬度與最優(yōu)尺寸的寬度一致，得到優(yōu)化后的亞分辨率輔助圖形；

S18：重復(fù)S13至S17步驟，直到所有區(qū)域都處理完；

S19：將多個(gè)區(qū)域的優(yōu)化后的亞分辨率輔助圖形進(jìn)行拼接；

S20：篩選尺寸小于設(shè)定值的優(yōu)化后的亞分辨率輔助圖形，得到優(yōu)化后的版圖圖形。

可選的，在所述的版圖優(yōu)化方法中，所述對(duì)所述版圖圖形進(jìn)行拆分，分成多個(gè)區(qū)域的方法包括：讀取器件結(jié)構(gòu)圖形；讀取多個(gè)器件之間的距離；根據(jù)多個(gè)器件之間的距離和多個(gè)器件之間的亞分辨率輔助圖形的個(gè)數(shù)將版圖圖形分成多個(gè)區(qū)域。