[發(fā)明專利]鋁腐蝕的處理方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911180695.5
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN112864034B
• 公開（公告）日: 2023-09-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 任萍萍;竺征
• 申請（專利權(quán)）人: 上海先進(jìn)半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66;C23F1/20
• 代理公司: 上海弼興律師事務(wù)所 31283
• 代理人: 薛琦;林嵩

本發(fā)明公開了一種鋁腐蝕的處理方法及系統(tǒng)，所述處理方法包括：S1.判斷被處理對象上金屬鋁所在的目標(biāo)表面是否發(fā)生鋁腐蝕，若是，則執(zhí)行步驟S2；S2.將目標(biāo)表面浸入酸性腐蝕液中，使酸性腐蝕液與金屬鋁發(fā)生各向同性反應(yīng)，以去除金屬鋁上生成的腐蝕物。本發(fā)明通過圖像比對和/或熒光分析能夠自動、及時(shí)且準(zhǔn)確地確定硅片上金屬鋁所在表面是否發(fā)生鋁腐蝕的情況，即在鋁腐蝕初期就可以發(fā)現(xiàn)腐蝕現(xiàn)象，進(jìn)而將發(fā)生鋁腐蝕的硅片浸入酸性腐蝕液中進(jìn)行腐蝕處理，快速地去除掉鋁和鹵族元素的混合物，即通過簡單有效的濕法處理，防止金屬鋁被進(jìn)一步腐蝕，避免鹵族元素和鋁的繼續(xù)發(fā)生反應(yīng)而持續(xù)惡化，從而有效地保證了產(chǎn)品的可靠性。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體工藝處理方法，特別涉及一種鋁腐蝕的處理方法及系統(tǒng)。

背景技術(shù)

鋁是半導(dǎo)體集成電路中常用的互聯(lián)引線金屬材料，在半導(dǎo)體制程的金屬化工藝中鋁是最為常用的金屬材料。其中，Aluminum?Corrosion?(鋁腐蝕)現(xiàn)象，即金屬鋁和F/CL（氟/氯）等鹵族元素發(fā)生反應(yīng)生成含F(xiàn)/CL的腐蝕物是一種常見現(xiàn)象，具體如圖1和圖2所示，其中，A表示硅片，B表示腐蝕物。一旦硅片上發(fā)生鋁腐蝕，如若不及時(shí)準(zhǔn)確處理，F(xiàn)/CL會持續(xù)和鋁發(fā)生反應(yīng)，使得腐蝕進(jìn)一步惡化，從而給產(chǎn)品的可靠性帶來嚴(yán)重的影響。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是為了克服現(xiàn)有技術(shù)中出現(xiàn)鋁腐蝕后鹵族元素會持續(xù)與鋁發(fā)生反應(yīng)從而影響產(chǎn)品可靠性的缺陷，本發(fā)明提供一種鋁腐蝕的處理方法及系統(tǒng)。

本發(fā)明是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題：

本發(fā)明提供一種鋁腐蝕的處理方法，所述處理方法包括：

S1.判斷被處理對象上金屬鋁所在的目標(biāo)表面是否發(fā)生鋁腐蝕，若是，則執(zhí)行步驟S2；

S2.將所述目標(biāo)表面浸入酸性腐蝕液中，使所述酸性腐蝕液與所述金屬鋁發(fā)生各向同性反應(yīng)，以去除所述金屬鋁上生成的腐蝕物。

較佳地，步驟S2之后還包括：

S3.采用去離子水沖洗所述目標(biāo)表面。

較佳地，步驟S1包括：

S11.采用掃描設(shè)備掃描所述目標(biāo)表面并獲取目標(biāo)圖像；

S12.判斷所述目標(biāo)圖像與樣本圖像是否一致，若是，則確定所述目標(biāo)表面未發(fā)生鋁腐蝕；否則，確定所述目標(biāo)表面發(fā)生鋁腐蝕。

較佳地，步驟S1包括：

S13.采用至少一個(gè)設(shè)定入射角度的光束照向所述目標(biāo)表面并獲取對應(yīng)的反射光束的反射角度；

S14.?判斷所述反射角度是否與所述設(shè)定入射角度相等，若是，則確定所述目標(biāo)表面未發(fā)生鋁腐蝕；否則，確定所述目標(biāo)表面發(fā)生鋁腐蝕；或，

當(dāng)采用多個(gè)所述設(shè)定入射角度的光束照向所述目標(biāo)表面時(shí)，步驟S13之后還包括：

S15.獲取所述反射角度相同的所述反射光束的第一數(shù)量；

S16.計(jì)算所述第一數(shù)量與所述設(shè)定入射角度的光束的總數(shù)量的比值；

S17.判斷所述比值是否超過設(shè)定閾值，若超過，則確定所述目標(biāo)表面未發(fā)生鋁腐蝕；否則，確定所述目標(biāo)表面發(fā)生鋁腐蝕。

較佳地，所述腐蝕物為含有鋁和鹵族元素的混合物；

步驟S1包括：

S18.采用熒光分析設(shè)備向所述目標(biāo)表面發(fā)射設(shè)定波長的入射光并獲取對應(yīng)的熒光圖像；

S19.對所述熒光圖像進(jìn)行分析，判斷是否存在鹵族元素，若存在，則確定所述目標(biāo)表面發(fā)生鋁腐蝕；否則，確定所述目標(biāo)表面未發(fā)生鋁腐蝕。