[發明專利]一種蒸發源組件

有效

• 申請號: 201911143930.1
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN110791731B
• 公開（公告）日: 2022-05-06
• 發明（設計）人: 李志榮;謝志生;馬亮
• 申請（專利權）人: 信利（仁壽）高端顯示科技有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/12
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 劉愛珍

本發明公開了一種蒸發源組件，其由至少兩個蒸發源組成，每個蒸發源包括本體和設置在本體上的噴嘴，其中至少一個所述的蒸發源的噴嘴上端面高于其它蒸發源的噴嘴上端面。本申請，可通過使蒸鍍速率較小的噴嘴上端面所處高度高過蒸鍍速率較大的噴嘴上端面所處高度，使速率較大的噴嘴氣流協助速率較小的噴嘴氣流的升華，從而促進不同材料氣體的摻雜，提高摻雜材料的利用率，降低蒸鍍成本。

技術領域

本發明涉及屬于蒸鍍技術領域，更具體的說是涉及一種蒸發源組件。

背景技術

當制作AMOLED的有機發光層的時候，一般由一種主體材料（host）和一種摻雜材料（dopant），或者一種主體材料和兩種摻雜材料，或者兩種主體材料和一種摻雜材料等材料組合蒸鍍而成。

由于各種材料的合成和提純工藝不同，不同材料之間的單價相差很大，比如摻雜材料的單價是主體材料的10倍甚至100倍不等。主體材料和摻雜材料在每一層有機發光層中材料的占比不同，一般摻雜材料只有主體材料的1%~12%。

如圖1所示，現有蒸發源組件包括本體1’和設置在本體上的噴嘴12’。本體1’包括殼體101、嵌設在殼體上的坩堝、蓋在殼體上的上蓋102?，F有的蒸發源組件，在實際蒸鍍過程中摻雜不均勻、降低了摻雜材料的利用率，當前有機發光材料的蒸鍍利用率只有5~30%，大部分沉積在蒸鍍腔里而浪費，這也是造成AMOLED制作成本一直居高不下的主要原因之一。

發明內容

為了解決上述問題，本發明提供了一種蒸發源組件，其由至少兩個蒸發源組成，每個蒸發源包括本體和設置在本體上的噴嘴，其中至少一個所述的蒸發源的噴嘴上端面高于其它蒸發源的噴嘴上端面。

優選的，所述蒸發源組件包括A蒸發源、B蒸發源，所述B蒸發源噴嘴上端面高于A蒸發源噴嘴上端面。

優選的，所述A蒸發源噴嘴和B蒸發源噴嘴的水平距離為L，所述B蒸發源噴嘴上端面與A蒸發源噴嘴上端面的高度差為△h ，L·tan30°≤△h≤L·tan60°。

優選的，△h = L·tan45°

優選的，所述B蒸發源噴嘴長度與所述A蒸發源噴嘴長度相同，所述B蒸發源的本體上端面高于所述A蒸發源的本體上端面。

優選的，所述B蒸發源噴嘴長度大于所述A蒸發源噴嘴長度。

優選的，所述B蒸發源的本體與所述A蒸發源的本體等高，所述B蒸發源的本體下端面與所述A蒸發源的本體下端面平齊。

優選的，所述B蒸發源噴嘴處設置有加熱器。

優選的，所述蒸發源組件包括A蒸發源、B蒸發源、A’蒸發源，所述B蒸發源位于A蒸發源和A’蒸發源之間，所述B蒸發源噴嘴上端面分別高于A蒸發源噴嘴上端面和A’蒸發源噴嘴上端面。

優選的，所述蒸發源組件包括A蒸發源、B蒸發源、B’蒸發源，所述A蒸發源位于B蒸發源和B’蒸發源之間，所述B蒸發源噴嘴上端面和B’蒸發源噴嘴上端面均高于A蒸發源噴嘴上端面。

與現有技術相比，本發明具有如下有益效果：

本申請，可通過蒸鍍速率較小的噴嘴上端面所處高度高過蒸鍍速率較大的噴嘴上端面所處高度，使速率較大的噴嘴氣流協助速率較小的噴嘴氣流的升華，從而促進不同材料氣體的摻雜，提高摻雜材料的利用率，降低蒸鍍成本。

附圖說明

圖1是現有技術的一種蒸發源組件的結構示意圖；

圖2是本發明實施例一所述的一種蒸發源組件的結構示意圖；

圖3是本發明實施例一所述的一種蒸發源組件的俯視示意圖；

圖4是本發明實施例二所述的一種蒸發源組件的結構示意圖；