[發明專利]一種微米尺度臺階超精密飛切加工方法

有效

• 申請號: 201911106048.X
• 申請日: 2019-11-13
• 公開（公告）號: CN110814432B
• 公開（公告）日: 2021-05-04
• 發明（設計）人: 陽紅;張敏;戴曉靜;劉有海;宋珂煒;尹承真;孫守利;楊光偉
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所
• 主分類號: B23D79/00
• 分類號: B23D79/00;B23Q5/36
• 代理公司: 成都行之專利代理事務所(普通合伙) 51220
• 代理人: 唐邦英

1.一種微米尺度臺階超精密飛切加工方法，其特征在于，利用單點金剛石飛切機床飛切加工被加工零件（1），在加工過程中通過調整主軸（3）的轉速實現連續微小尺度臺階加工；利用飛切刀盤（4）在主軸（3）不同轉速下，由于離心力作用導致單點金剛石刀具（5）的切削點產生高度變化從而實現連續微小尺度臺階的確定量加工。

2.根據權利要求1所述的一種微米尺度臺階超精密飛切加工方法，其特征在于，包括以下步驟：

1）、高精度平面單點金剛石飛切加工：設置主軸（3）的轉速為n1，采用單點金剛石刀具（5）對被加工零件（1）表面進行飛切加工；

2）、連續微小尺度臺階超精密飛切加工：改變主軸（3）的轉速為n2，其中，n2n1，采用單點金剛石刀具（5）對被加工零件（1）表面進行飛切加工，同時，直線運動機構（2）在加工長度方向做直線進給運動。

3.根據權利要求2所述的一種微米尺度臺階超精密飛切加工方法，其特征在于，步驟1）的切削深度為1μm-5μm。

4.根據權利要求2所述的一種微米尺度臺階超精密飛切加工方法，其特征在于，所述直線運動機構（2）的進給速度為2mm/min-5mm/min。

5.根據權利要求1或2所述的一種微米尺度臺階超精密飛切加工方法，其特征在于，所述主軸（3）的轉速為100rpm/min -600rpm/min。

6.根據權利要求2所述的一種微米尺度臺階超精密飛切加工方法，其特征在于，所述單點金剛石刀具（5）安裝在機床的飛切刀盤（4）上，且與直線運動機構（2）形成聯動系統。

7.根據權利要求1或2所述的一種微米尺度臺階超精密飛切加工方法，其特征在于，所述被加工零件（1）為金屬或非金屬材料。