[發(fā)明專(zhuān)利]一種靶材的清洗方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201911090091.1 | 申請(qǐng)日： | 2019-11-08 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110670083A | 公開(kāi)（公告）日： | 2020-01-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學(xué)澤;楊恕鑒 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 寧波江豐電子材料股份有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C23G5/00 | 分類(lèi)號(hào)： | C23G5/00;C23C14/34 |
| 代理公司： | 11659 北京遠(yuǎn)智匯知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 王巖 |
| 地址： | 315400 浙江省寧波市*** | 國(guó)省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 清洗 靶材 清潔劑 超聲波清洗 靶材表面 真空干燥處理 惰性氣體 廢液處理 高壓水槍 廢液量 消耗量 吹干 對(duì)靶 涂覆 | ||
1.一種靶材的清洗方法，其特征在于，所述靶材的清洗方法包括如下步驟：
(1)靶材表面涂覆清潔劑，然后進(jìn)行刷洗；
(2)超聲波清洗刷洗后的靶材；
(3)使用惰性氣體吹干超聲波清洗后靶材表面的水分，然后進(jìn)行真空干燥處理，得到清洗完成的靶材。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，步驟(1)所述靶材表面涂覆清潔劑，然后進(jìn)行刷洗的具體操作為：
(a)首先在靶材未設(shè)置螺紋的一面涂覆清潔劑，采用鋼刷進(jìn)行刷洗；
(b)然后在靶材設(shè)置螺紋的焊接面涂覆清潔劑，采用鋼刷進(jìn)行刷洗。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述清潔劑包括異丙醇、乙醇或丙酮中的任意一種或至少兩種的組合，優(yōu)選為異丙醇。
4.根據(jù)權(quán)利要求2或3所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述刷洗為采用鋼刷從內(nèi)向外刷3-4次后再使用純水沖洗30-60s。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，步驟(2)所述超聲波清洗為使用超純水進(jìn)行超聲波清洗。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，步驟(2)所述超聲波清洗的溫度為60℃以上，優(yōu)選為70℃以上。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，步驟(2)所述超聲波處理的時(shí)間為6-15min，優(yōu)選為8-12min。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，步驟(3)所述惰性氣體包括氮?dú)狻⒑饣驓鍤庵械娜我庖环N或至少兩種的組合，優(yōu)選為氮?dú)狻?/p>
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，步驟(3)所述真空干燥的時(shí)間為40-80min，優(yōu)選為50-70min。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的靶材的清洗方法，其特征在于，步驟(3)所述真空干燥的溫度為300-400℃。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的靶材的清洗方法，其特征在于，步驟(3)所述真空干燥的真空度控制為100Pa以下。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材的清洗方法，其特征在于，所述靶材的清洗方法包括如下步驟：
(1)靶材表面涂覆清潔劑，然后進(jìn)行刷洗具體操作為：
(a)首先在靶材未設(shè)置螺紋的一面涂覆清潔劑，采用鋼刷從內(nèi)向外刷3-4次后再使用純水沖洗30-60s；
(b)然后在靶材設(shè)置螺紋的焊接面涂覆清潔劑，采用鋼刷從內(nèi)向外刷3-4次后再使用純水沖洗30-60s；
(2)在60℃以上的條件下使用超純水超聲波清洗刷洗后的靶材6-15min；
(3)使用惰性氣體吹干超聲波清洗后靶材表面的水分，然后進(jìn)行真空干燥處理40-80min，得到清洗完成的靶材。
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