[發(fā)明專利]一種表面缺陷檢測方法及裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911075797.0
• 申請(qǐng)日: 2019-11-06
• 公開（公告）號(hào): CN110736751B
• 公開（公告）日: 2022-04-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊朝興
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 合肥御微半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): G01N21/88
• 分類號(hào): G01N21/88;G01N21/95
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發(fā)明提供一種表面缺陷檢測方法及裝置，涉及表面檢測技術(shù)，表面缺陷檢測方法包括：采用顯示屏作為發(fā)光光源，并使得所述顯示屏依次顯示多幅亮暗相間圖案照射待測物體；收集所述待測物體在所述多幅亮暗相間圖案照射下產(chǎn)生的發(fā)射光及散射光以獲取多幅圖像；根據(jù)所述多幅圖像獲取待測物體的表面缺陷；其中，所述亮暗相間圖案中的亮圖案作為表面缺陷檢測的光源，且任意兩幅亮暗相間圖案中亮圖案在顯示屏中的位置不同。本發(fā)明提供一種表面缺陷檢測方法及裝置，以獲取缺陷對(duì)比度增強(qiáng)的圖像，提高表面缺陷的檢出率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及表面檢測技術(shù)，尤其涉及一種表面缺陷檢測方法及裝置。

背景技術(shù)

工業(yè)領(lǐng)域中的質(zhì)量控制非常重要，有效的、靈敏度高的質(zhì)量控制方法可以讓廠商更具競爭力。機(jī)器視覺技術(shù)是一種客觀的、可靠的缺陷檢測技術(shù)，而且具有速度快、重復(fù)性高的優(yōu)點(diǎn)，因此在工業(yè)領(lǐng)域中具有非常重要的應(yīng)用。AOI(Automatic Optical Inspection,自動(dòng)光學(xué)缺陷檢測設(shè)備)具有代替人眼的主觀檢測的趨勢，雖然現(xiàn)在很多工業(yè)領(lǐng)域仍然依賴人工檢測。理想的AOI系統(tǒng)是可靠的、快速的、穩(wěn)定的、低成本的，而且適用于各類的表面和待測物。在對(duì)具有鏡面反射性質(zhì)的表面進(jìn)行缺陷檢測時(shí)，其產(chǎn)生的強(qiáng)反射光給后續(xù)的圖像處理造成很大的影響，最終會(huì)導(dǎo)致表面缺陷檢測中出現(xiàn)缺陷誤判、漏判,降低了檢測系統(tǒng)的效率和性能。

條狀散射結(jié)構(gòu)光常用于鏡面反射表面的缺陷檢測，為了增加圖像缺陷的對(duì)比度，研究人員采用對(duì)暗場圖像進(jìn)行求和或者平均的圖像融合技術(shù)。為了增強(qiáng)圖像，即增強(qiáng)缺陷的對(duì)比度，需要對(duì)待融合的圖像進(jìn)行過曝。這種技術(shù)對(duì)于探測散射型的缺陷具有較好的效果，但是對(duì)于不會(huì)產(chǎn)生暗場信號(hào)的吸收型缺陷卻效果不佳。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供一種表面缺陷檢測方法及裝置，以實(shí)現(xiàn)獲取缺陷對(duì)比度增強(qiáng)的圖像，提高表面缺陷的檢出率。

第一方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種表面缺陷檢測方法，包括：

采用顯示屏作為發(fā)光光源，并使得所述顯示屏依次顯示多幅亮暗相間圖案照射待測物體；

收集所述待測物體在所述多幅亮暗相間圖案照射下產(chǎn)生的反射光以獲取多幅圖像；

根據(jù)所述多幅圖像獲取待測物體的表面缺陷；

其中，所述亮暗相間圖案中的亮圖案作為表面缺陷檢測的光源，且任意兩幅亮暗相間圖案中亮圖案在顯示屏中的位置不同。

可選地，顯示屏相鄰兩次顯示的所述亮暗相間圖案中亮圖案交疊。

可選地，所述亮暗相間圖案中亮圖案包括多個(gè)沿第一方向延伸并沿第二方向排列的第一亮條紋和多個(gè)沿第二方向延伸并沿第一方向排列的第二亮條紋，多條所述第一亮條紋和多條所述第二亮條紋交叉形成棋盤狀。

可選地，所述第一亮條紋的寬度等于所述第二亮條紋的寬度，相鄰兩條第一亮條紋之間的間距等于相鄰兩條第二亮條紋之間的間距。

可選地，所述亮暗相間圖案中亮圖案包括多個(gè)同心設(shè)置的圓環(huán)狀亮條紋。

可選地，根據(jù)所述多幅圖像獲取待測物體的表面缺陷，包括：

對(duì)所述多幅圖像進(jìn)行融合獲得合成圖像；

從所述合成圖像中獲取待測物體的表面缺陷；

其中，所述合成圖像的融合方法為：是所述合成圖像中第(i,j)個(gè)像素點(diǎn)的強(qiáng)度值，是所述多幅圖像中第k幅圖像的第(i,j)個(gè)像素點(diǎn)的強(qiáng)度值，N是所述多幅圖像的數(shù)量，i、j、k和N均為正整數(shù)。

第二方面，本發(fā)明實(shí)施例提供一種表面缺陷檢測裝置，包括：

載物臺(tái)，用于承載待測物體；

顯示屏，用作發(fā)光光源，位于所述待測物體上方；