[發明專利]MEMS微鏡、激光雷達及自動駕駛設備

在審

• 申請號: 201911069152.6
• 申請日: 2019-11-05
• 公開（公告）號: CN111562560A
• 公開（公告）日: 2020-08-21
• 發明（設計）人: 李帆雅;沈文江
• 申請（專利權）人: 蘇州希景微機電科技有限公司
• 主分類號: G01S7/481
• 分類號: G01S7/481;G01S17/08;G01S17/88
• 代理公司: 北京市浩天知識產權代理事務所(普通合伙) 11276
• 代理人: 王廣濤

1.一種MEMS微鏡(1)，其特征在于，包括框架(10)、轉軸(20)、鏡面(30)、磁鐵(40)和線圈(50)；

所述轉軸(20)包括互相垂直的第一轉軸(21)和第二轉軸(22)；

所述鏡面(30)通過所述轉軸(20)與所述框架(10)連接，所述鏡面(30)用于反射激光光束，所述鏡面(30)能夠繞所述第一轉軸(21)和第二轉軸(22)扭轉；

所述線圈(50)設置于所述框架(10)上；

所述磁鐵(40)包括相互獨立的第一磁鐵組(41)和第二磁鐵組(42)，所述第一磁鐵組(41)包括至少一對磁鐵，所述第二磁鐵組(42)包括至少一對磁鐵，所述第一磁鐵組(41)與所述線圈(50)產生驅動所述鏡面(30)繞所述第一轉軸(21)扭轉的驅動力，所述第二磁鐵組(42)與所述線圈(50)產生驅動所述鏡面(30)繞所述第二轉軸(22)扭轉的驅動力。

2.根據權利要求1所述的MEMS微鏡(1)，其特征在于，所述第一磁鐵組(41)和所述第二磁鐵組(42)位于所述鏡面(30)的背面一側。

3.根據權利要求1所述的MEMS微鏡(1)，其特征在于，所述線圈(50)位于所述鏡面(30)的正面一側。

4.根據權利要求1所述的MEMS微鏡(1)，其特征在于，所述磁鐵(40)和所述框架(10)之間的垂直距離范圍為0.2-0.4mm。

5.根據權利要求1所述的MEMS微鏡(1)，其特征在于，所述第一磁鐵組(41)沿所述第一轉軸(21)方向的長度不小于所述線圈(50)沿所述第一轉軸(21)方向的長度，所述第二磁鐵組(42)沿所述第二轉軸(22)方向的長度不小于所述線圈(50)沿所述第二轉軸(22)方向的長度。

6.根據權利要求1所述的MEMS微鏡(1)，其特征在于，所述第一磁鐵組(41)的至少一對磁鐵包括第一磁鐵(411)和第二磁鐵(412)，所述第一磁鐵(411)與所述線圈(50)產生驅動所述鏡面(30)繞所述第一轉軸(21)扭轉的第一方向的驅動力，所述第二磁鐵(412)與所述線圈(50)產生驅動所述鏡面(30)繞所述第一轉軸(21)扭轉的第二方向的驅動力，所述第二方向與所述第一方向相反；

所述第二磁鐵組(42)的至少一對磁鐵包括第三磁鐵(421)和第四磁鐵(422)，所述第三磁鐵(421)與所述線圈(50)產生驅動所述鏡面(30)繞所述第二轉軸(22)扭轉的第三方向的驅動力，所述第四磁鐵(422)與所述線圈(50)產生驅動所述鏡面(30)繞所述第二轉軸(22)扭轉的第四方向的驅動力，所述第三方向與所述第四方向相反。

7.根據權利要求6所述的MEMS微鏡(1)，其特征在于，所述第一磁鐵(411)和所述第二磁鐵(412)以所述第一轉軸(21)為中心軸對稱設置，且以所述鏡面(30)為中心對稱設置，所述第三磁鐵(421)和所述第四磁鐵(422)以所述第二轉軸(22)為中心軸對稱設置，且以所述鏡面(30)為中心對稱設置。

8.根據權利要求6所述的MEMS微鏡(1)，其特征在于，所述第一磁鐵(411)和所述第三磁鐵(421)在所述第一轉軸(21)方向上的間距大于或等于1mm，所述第一磁鐵(411)和所述第四磁鐵(422)在所述第一轉軸(21)方向上的間距大于或等于1mm，所述第二磁鐵(412)和所述第三磁鐵(421)在所述第一轉軸(21)方向上的間距大于或等于1mm，所述第二磁鐵(412)和所述第四磁鐵(422)在所述第一轉軸(21)方向上的間距大于或等于1mm。