[發(fā)明專利]一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911064276.5 | 申請日： | 2019-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN110727048B | 公開（公告）日： | 2020-11-24 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 陸榮國;蔡松煒;王玉姣;沈黎明;林瑞;呂江泊;劉永 | 申請（專利權(quán)）人： | 電子科技大學 |
| 主分類號： | G02B6/122 | 分類號： | G02B6/122;G02B6/125;G02B5/00 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 51230 | 代理人： | 軒勇麗 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 石墨 表面 等離子 面向 um 波段 調(diào)諧 功率 耦合器 | ||
1.一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器，包括基底，連接在所述基底上的輸入條形波導、耦合波導部、輸出S波導和輸出條形波導，其特征在于：所述耦合波導部由條形波導A、等離子波導、條形波導B平行間距排列構(gòu)成，所述條形波導A與輸入條形波導和輸出S波導銜接，所述條形波導B與輸出條形波導銜接，所述等離子波導自下而上依次由底層條形波導，下層石墨烯，介質(zhì)，上層石墨烯，金屬覆蓋層構(gòu)成，所述下層石墨烯和金屬覆蓋層與外部電極相連。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器，其特征在于：所述條形波導A與輸入條形波導和輸出S波導寬度、高度均一致；所述條形波導B與輸出條形波導寬度、高度均一致。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器，其特征在于：所述等離子波導中的石墨烯-介質(zhì)-石墨烯的多層結(jié)構(gòu)通過電極加載電壓控制石墨烯的表面電導率來控制多層結(jié)構(gòu)的有效折射率。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器，其特征在于：所述基底上的輸入條形波導、耦合波導部、輸出S波導和輸出條形波導表面均采用二氧化硅或硫系玻璃進行封裝。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器，其特征在于：所述上層石墨烯和下層石墨烯均包括單層石墨烯結(jié)構(gòu)或多層石墨烯重疊結(jié)構(gòu)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器，其特征在于：所述條形波導和S波導均為半導體波導。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器，其特征在于：所述半導體波導包括硅波導。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器，其特征在于：所述等離子波導中的石墨烯-介質(zhì)-石墨烯的多層結(jié)構(gòu)上的金屬及從石墨烯和金屬引出的電極采用傳統(tǒng)導電金屬。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種基于石墨烯表面等離子激元的面向2um波段的可調(diào)諧功率耦合器，其特征在于：所述傳統(tǒng)導電金屬包括金、銀、銅、鉑、鈦。
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