[發明專利]一種集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡及其設計方法在審
| 申請號： | 201911058991.8 | 申請日： | 2019-11-01 |
| 公開（公告）號： | CN110768103A | 公開（公告）日： | 2020-02-07 |
| 發明（設計）人： | 陳明華;李佳琛 | 申請（專利權）人： | 靈芯光電(天津)有限公司 |
| 主分類號： | H01S5/10 | 分類號： | H01S5/10;H01S5/14 |
| 代理公司： | 11388 北京市中聞律師事務所 | 代理人： | 馮夢洪 |
| 地址： | 300467 天津市濱海新區中新生態城*** | 國省代碼： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微環 反射鏡 窄線寬激光器 反射點 外腔 窄線寬外腔激光器 調諧 背向散射 輸入端口 耦合 潛在的 微結構 亞波長 窄線寬 耦合型 光能 波導 單臂 延時 應用 場景 輸出 傳播 | ||
1.一種集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡，其特征在于：在單臂耦合型微環反射鏡的微環波導上添加一個亞波長大小的微結構來構成反射點，激勵起反向傳播的模式，通過反射點引起背向散射耦合，使得部分光能從輸入端口輸出。
2.根據權利要求1所述的集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡，其特征在于：所述微結構為圓形、條形、或者斷裂型的亞波長結構。
3.根據權利要求2所述的集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡，其特征在于：在1.4um寬，0.2um厚的氮化硅微環波導中央上設置一個圓形的微結構，該微結構的半徑小于等于0.3um。
4.根據權利要求3所述的集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡，其特征在于：在1.4um寬，0.2um厚的氮化硅微環波導中央上設置一個圓形的微結構，該微結構的半徑等于0.1um。
5.根據權利要求3所述的集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡，其特征在于：在1.4um寬，0.2um厚的氮化硅微環波導中央上設置一個圓形的微結構，該微結構的半徑等于0.2um。
6.根據權利要求1所述的集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡，其特征在于：該微結構設在氮化硅平臺上，微環波導為跑道型，寬度為1.4um，微環的半徑為125um，跑道型微環波導的直波導長度為250um，微環的耦合間距為0.8um，該微結構為圓形，設在跑道型微環波導的直波導上，直徑為0.2um。
7.根據權利要求2所述的集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡，其特征在于：在2.8um寬，0.1um厚的氮化硅微環波導上，微環反射鏡為半徑600um的圓形，微環和波導的耦合間距為0.9um，反射點為條形結構0.5*0.2um。
8.一種根據權利要求1所述的集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡的設計方法，其特征在于：該亞波長大小的微結構通過在波導內進行版圖設計，單次曝光刻蝕出來。
9.根據權利要求8所述的集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡的設計方法，其特征在于：通過加熱電極對該微環反射鏡的反饋波長進行調諧，在芯片的表面生長刻蝕出加熱電極，通過改變加熱電極的電壓來改變加熱電極周圍局部的溫度，熱量擴散到波導處相應改變波導的折射率，進而改變微環反射鏡的中心波長。
10.根據權利要求8所述的集成外腔窄線寬激光器的微環反射鏡的設計方法，其特征在于：通過壓光調諧或電光調諧對該微環反射鏡的反饋波長進行調諧。
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