[發明專利]激光轉折裝置、激光加工光路系統及光路調試方法

有效

• 申請號: 201911057301.7
• 申請日: 2019-10-31
• 公開（公告）號: CN110666343B
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 高愛梅;李星辰;武震;鄭佳晶
• 申請（專利權）人: 北京半導體專用設備研究所（中國電子科技集團公司第四十五研究所）
• 主分類號: B23K26/046
• 分類號: B23K26/046;B23K26/064
• 代理公司: 北京超凡宏宇專利代理事務所(特殊普通合伙) 11463
• 代理人: 羅碩

1.一種激光轉折裝置，其特征在于，包括：

鏡座基體，所述鏡座基體形成有供激光穿過的腔室，所述鏡座基體的外壁形成有分別與所述腔室連通的光路入口和光路出口，所述光路入口沿X軸方向設置，所述光路出口沿Z軸方向設置；

轉折鏡片，所述轉折鏡片沿X軸方向設置于所述腔室內；以及

轉折調節結構，所述轉折調節結構連接于所述鏡座基體，所述轉折調節結構連接于所述轉折鏡片，所述轉折調節結構用于對所述轉折鏡片進行位置調節；

所述鏡座基體的外壁還形成有調節端口；

所述轉折調節結構包括固定盤、旋轉盤、鏡片架、連桿、調節螺絲、緊頂螺絲和固定螺絲；

所述固定盤通過所述固定螺絲連接于所述調節端口，所述固定盤開設有連通于所述腔室的通口；

所述旋轉盤連接于所述連桿，所述旋轉盤覆蓋所述通口，所述轉折鏡片通過所述鏡片架連接于所述旋轉盤；

所述鏡片架置于所述腔室內，使得所述轉折鏡片沿X軸方向設置；

所述連桿通過所述調節螺絲沿X軸方向活動連接于所述固定盤，所述旋轉盤通過所述緊頂螺絲沿Y軸方向活動連接于所述固定盤。

2.根據權利要求1所述的激光轉折裝置，其特征在于：

所述激光轉折裝置包括第一調試工裝，所述第一調試工裝包括安裝架、十字光闌和倍頻片；

所述十字光闌和所述倍頻片間隔連接于所述安裝架，所述安裝架連接于所述光路入口，使得所述激光沿X軸方向依次通過所述十字光闌、所述倍頻片后從所述光路入口進入所述腔室。

3.一種激光加工光路系統，其特征在于：

所述激光加工光路系統包括權利要求1-2中任意一項所述的激光轉折裝置；

所述激光加工光路系統還包括加工基座、激光擴束準直裝置、激光聚焦裝置和同軸調節裝置；

所述鏡座基體通過轉接板連接于所述加工基座；

所述激光擴束準直裝置連接于所述加工基座，所述激光擴束準直裝置和所述激光轉折裝置沿X軸方向間隔設置，所述激光擴束準直裝置用于發射激光并對激光進行準直擴束；

所述激光聚焦裝置連接于所述加工基座，所述激光聚焦裝置用于將由所述光路出口射出的激光聚焦成加工用的微細光斑；

所述同軸調節裝置沿Z軸方向連接于所述激光轉折裝置，所述同軸調節裝置連通于所述腔室，所述同軸調節裝置用于識別對位加工標記以及輔助調節激光光路。

4.根據權利要求3所述的激光加工光路系統，其特征在于：

所述激光擴束準直裝置包括激光器、擴束鏡和第一調試工裝；

所述第一調試工裝包括安裝架、十字光闌和倍頻片，所述十字光闌和所述倍頻片間隔連接于所述安裝架；

所述激光器連接于所述加工基座，所述擴束鏡連接于所述激光器出口，所述安裝架連接于所述擴束鏡；

所述激光器、所述擴束鏡、所述第一調試工裝以及所述激光轉折裝置沿X軸方向依次設置。

5.根據權利要求3所述的激光加工光路系統，其特征在于：

所述激光聚焦裝置包括聚焦座、壓電陶瓷電機、伺服電機和第二調試工裝；

所述加工基座連接有立板，所述立板滑動連接有滑板，所述伺服電機驅動所述滑板沿Z軸方向相對所述立板滑動；

所述聚焦座連接于所述滑板，所述壓電陶瓷電機連接于所述聚焦座；

所述第二調試工裝用于對激光進行垂直方向的調試，所述第二調試工裝包括長筒和兩個十字光闌，兩個所述十字光闌分別同軸安裝于所述長筒的兩端，所述長筒連接于所述壓電陶瓷電機，所述長筒連通于所述光路出口。

6.根據權利要求3所述的激光加工光路系統，其特征在于：

所述激光聚焦裝置包括聚焦座、壓電陶瓷電機、伺服電機和聚焦鏡；

所述加工基座連接有立板，所述立板滑動連接有滑板，所述伺服電機驅動所述滑板沿Z軸方向相對所述立板滑動；

所述聚焦座連接于所述滑板，所述壓電陶瓷電機連接于所述聚焦座；

所述聚焦鏡連接于所述壓電陶瓷電機，所述聚焦鏡連通于所述光路出口。