[發明專利]一種可延展的柔性射頻微帶線及其制備方法

有效

• 申請號: 201911043606.2
• 申請日: 2019-10-30
• 公開（公告）號: CN110797617B
• 公開（公告）日: 2021-07-06
• 發明（設計）人: 潘泰松;彭越禹;陳思宏;谷雨;顏卓程;高敏;林媛
• 申請（專利權）人: 電子科技大學
• 主分類號: H01P3/10
• 分類號: H01P3/10;H01P3/18;H01P11/00
• 代理公司: 電子科技大學專利中心 51203
• 代理人: 吳姍霖

1.一種可延展的柔性射頻微帶線，其特征在于，所述柔性射頻微帶線從下往上依次為可延展周期陣列層、可延展柔性介電層和可延展金屬折線層；所述可延展周期陣列層與可延展金屬折線層均由金屬和有機聚合物組成，兩層都由有機聚合物與可延展柔性介電層相連接，可延展周期陣列層的兩端與射頻接線端子的外導體相連接，可延展金屬折線層的兩端與射頻接線端子的內導體實現電氣互連；所述可延展周期陣列層由基本陣列單元周期排列組成，所述基本陣列單元由基本圖形依次旋轉90⁰、180⁰和270⁰得到，所述基本圖形由第一長條形和第二長條形通過倒角連接構成，所述第一長條形與水平線之間的夾角α為15⁰~60⁰，第一長條形與第二長條形之間的夾角β為180⁰-2α，所述第一長條形和第二長條形的寬度相同，為0.2~3mm，所述第一長條形未與第二長條形接觸的一端作為旋轉中心，相鄰兩個基本陣列單元中心點之間的間距為1~10mm。

2.如權利要求1所述可延展的柔性射頻微帶線，其特征在于，所述第一長條形與水平線之間的夾角為15⁰、30⁰、45⁰或60⁰；當夾角為15⁰時，相鄰兩個基本陣列單元中心點之間的間距為6mm；當夾角為30⁰時，相鄰兩個基本陣列單元中心點之間的間距為6.5mm；當夾角為45⁰時，相鄰兩個基本陣列單元中心點之間的間距為7mm；當夾角為60⁰時，相鄰兩個基本陣列單元中心點之間的間距為7.5mm。

3.如權利要求1所述可延展的柔性射頻微帶線，其特征在于，所述金屬為銅或鋁，所述有機聚合物為聚酰亞胺或液晶高分子聚合物。

4.如權利要求3所述可延展的柔性射頻微帶線，其特征在于，所述可延展周期陣列層與可延展金屬折線層的聚酰亞胺通過SiO₂層與可延展柔性介電層相連。

5.如權利要求1所述可延展的柔性射頻微帶線，其特征在于，所述可延展周期陣列層與金屬折線層中的金屬層厚度為0.010mm~0.100mm，有機聚合物層厚度為0.010mm~0.100mm；所述可延展柔性介電層的材料為Ecoflex? 00-30，厚度為0.5~3mm。

6.如權利要求5所述可延展的柔性射頻微帶線，其特征在于，所述Ecoflex? 00-30材料由Parts A和Parts B按照1:1的體積比或質量比混合制備而成。

7.一種如權利要求4所述可延展的柔性射頻微帶線的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

步驟1：將有機聚合物層覆蓋在金屬層上，通過刻蝕形成可延展周期陣列層與可延展金屬折線層的圖案，制備得到可延展周期陣列層與可延展金屬折線層；

步驟2：轉移水溶膠于步驟1得到的可延展周期陣列層與可延展金屬折線層的金屬層上，然后于室溫下封閉靜置；

步驟3：制備可延展柔性介電層，具體為：使用Ecoflex? 00-30，并將其中的Parts A液和Parts B液按照1:1的體積比或質量比混合，抽真空后再倒入容器即可制備得到；

步驟4：在步驟2得到的可延展周期陣列層和可延展金屬折線層的水溶膠上旋涂硅膠，使硅膠完全覆蓋可延展周期陣列層和可延展金屬折線層的有機聚合物層，然后分別將可延展周期陣列層和可延展金屬折線層的硅膠面黏附在可延展柔性介電層的兩側，靜置使硅膠固化成SiO₂層；

步驟5：將步驟4得到的結構涂覆正硅酸乙酯，然后置于紫外光下進行UV照射，增強SiO₂層與可延展柔性介電層的粘附性；

步驟6：將步驟5處理后的器件置于水中浸泡，去掉水溶膠，然后干燥處理；

步驟7：在步驟6得到的器件的可延展金屬折線層與SMA射頻接線端子的外導體相連接，可延展周期陣列層的兩側與SMA射頻接線端子的內導體焊接形成電氣互聯，即可制備得到所述可延展的柔性射頻微帶線。