[發明專利]一種用于石墨舟的新型電極結構及其石墨舟在審

申請號：	201911030309.4	申請日：	2019-10-28
公開（公告）號：	CN110648893A	公開（公告）日：	2020-01-03
發明（設計）人：	王利娟;彭彪;陸勇;彭春林;段少雷;顧峰;戎丹	申請（專利權）人：	通威太陽能(安徽)有限公司
主分類號：	H01J37/32	分類號：	H01J37/32;H01L21/673;H01L31/18
代理公司：	53113 昆明合眾智信知識產權事務所	代理人：	韋群
地址：	230088 安徽省合***	國省代碼：	安徽;34
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摘要：
搜索關鍵詞：	石墨連接塊電極結構石墨桿電池片均勻性空心槽石墨舟新型電極結構反應氣體硅片鍍膜空心結構相鄰工位可拆卸整體膜插接爐口膜厚內膜溫區沉積貫通保證
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【說明書】：

本發明公開了一種用于石墨舟的新型電極結構，包括石墨桿和若干石墨連接塊，所述電極結構通過石墨桿可拆卸地插接多個石墨連接塊構成，所述石墨桿為圓柱體，所述石墨連接塊為長方體，且石墨連接塊中貫通開設有空心槽。本發明空心槽設計合理，空心結構的石墨連接塊，在相同升溫時間下提升了電極結構附近溫區的溫度，從而提升了相鄰工位的電池片膜厚，縮小了電池片舟內膜厚均勻性的差異；并且保證了爐口通入的反應氣體能直接通過電極結構進入石墨舟內，使得硅片鍍膜時整體沉積速率較一致，從而改善舟內整體膜厚均勻性。

技術領域

本發明涉及光伏太陽能電池生產設備技術領域，具體為一種用于石墨舟的新型電極結構及其石墨舟。

背景技術

光伏組件是由若干太陽能電池片串、并聯連接后形成的組件，是太陽能發電領域的重要組成部分。而太陽能電池片在生產過程中，需要對硅片鍍一層減反射氮化硅薄膜，因此對氮化硅薄膜的均勻性要求很高，而爐管各溫區溫度、鍍膜功率、鍍膜壓力等都會影響鍍膜均勻性，隨著電池片生產工藝的優化，鍍膜工藝方案較之前有很大的優化，但減反射膜的均勻性控制仍然是一項需優化的問題。

現有的石墨舟電極結構，其包括石墨連接塊、石墨桿、陶瓷桿、螺母，但是其普遍存在以下較為明顯的工藝缺陷：

目前產線上使用的石墨連接塊為實心結構，在相同升溫時間下使得電極結構附近溫區溫度偏低，相鄰工位電池片容易受此影響使得膜厚偏低，影響整體膜厚均勻性；

而且，裝有電池片的石墨舟在爐管內鍍膜時電極結構會阻礙反應氣體流暢通過，出現進氣不均的問題，也會影響整體膜厚均勻性。

因此，需要一種新型電極結構來解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種用于石墨舟的新型電極結構及其石墨舟，以解決上述背景技術中提出的問題，能夠提升電極結構相鄰工位膜厚均勻性，彌補相鄰工位膜厚均勻性差的缺陷，使得硅片在鍍膜時整體沉積速率較一致，從而改善舟內整體膜厚均勻性。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：

一種用于石墨舟的新型電極結構，包括石墨桿和若干石墨連接塊，所述電極結構通過石墨桿可拆卸地插接多個石墨連接塊構成，所述石墨桿為圓柱體，所述石墨連接塊為長方體，且石墨連接塊中貫通開設有空心槽。

優選的，所述石墨連接塊上開設有兩個與石墨桿配合插接的插接孔，兩個所述插接孔在軸徑方向上為平行設置，所述插接孔與空心槽在軸徑方向上為垂直設置。

優選的，還包括開槽連接塊，所述開槽連接塊中開設有插接孔，且開槽連接塊中開設有條形槽。

優選的，還包括石墨舟腳，所述石墨舟腳中開設有插接孔。

優選的，所述石墨連接塊的橫向寬度為24-26mm，所述石墨連接塊的縱向寬度為41-43mm，所述石墨連接塊的高度為34-36mm。