[發明專利]待清洗工件的裝夾系統及裝夾方法

有效

• 申請號: 201911029449.X
• 申請日: 2019-10-25
• 公開（公告）號: CN110854040B
• 公開（公告）日: 2021-03-02
• 發明（設計）人: 王二偉;顧立勛;夏余平
• 申請（專利權）人: 長江存儲科技有限責任公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;熊永強

1.一種待清洗工件的裝夾系統，其特征在于，所述裝夾系統包括裝夾裝置與驅動裝置；

所述裝夾裝置包括多個依次排列的裝夾組件，所述裝夾組件包括第一裝夾部與第二裝夾部；

所述第一裝夾部設有第一凹槽，所述第一凹槽用于裝夾第一待清洗工件；

所述第二裝夾部設有第二凹槽，所述第二凹槽用于裝夾第二待清洗工件；

所述驅動裝置用于驅動所述裝夾裝置進行位移，以使得所述第一凹槽與所述第二凹槽之間的間距可調；

所述驅動裝置包括第一旋轉裝置和移動裝置；

所述第一裝夾部包括形成所述第一凹槽的第一側壁與連接所述第一側壁的第一表面；

所述第一旋轉裝置設于所述第一側壁與所述第一表面之間，所述第一旋轉裝置用于旋轉所述第一側壁，以改變所述第一側壁與所述第一表面之間的角度；

所述移動裝置連接所述第一裝夾部與所述第二裝夾部，當所述第一旋轉裝置改變所述第一側壁與所述第一表面之間的角度時，所述移動裝置用于使所述第一裝夾部和所述第二裝夾部沿多個所述裝夾組件的排列方向進行移動，以使得所述第一側壁的長度保持不變。

2.如權利要求1所述的裝夾系統，其特征在于，

所述驅動裝置包括移動裝置，所述移動裝置連接所述第一裝夾部與所述第二裝夾部，所述移動裝置用于使所述第一裝夾部和/或所述第二裝夾部沿任意方向進行移動。

3.如權利要求2所述的裝夾系統，其特征在于，所述移動裝置用于使所述第一裝夾部和/或所述第二裝夾部沿多個所述裝夾組件的排列方向進行移動。

4.如權利要求1所述的裝夾系統，其特征在于，對于相鄰的兩個所述裝夾組件：裝夾組件(A)與裝夾組件(B)，所述裝夾組件(A)包括第一裝夾部(A)與第二裝夾部(A)，所述裝夾組件(B)包括第一裝夾部(B)與第二裝夾部(B)，所述第二裝夾部(A)固定連接所述第一裝夾部(B)，或者，所述第二裝夾部(A)與所述第一裝夾部(B)之間的間距可調。

5.如權利要求1所述的裝夾系統，其特征在于，所述驅動裝置還包括第二旋轉裝置，所述第二旋轉裝置連接所述裝夾裝置，所述第二旋轉裝置用于使所述裝夾裝置沿垂直于所述移動裝置的移動方向與所述第一旋轉裝置的旋轉方向形成的平面的方向旋轉180°。

6.如權利要求1所述的裝夾系統，其特征在于，所述移動裝置還用于使所述第一裝夾部與所述第二裝夾部沿垂直于所述移動裝置的移動方向與所述第一旋轉裝置的旋轉方向形成的平面的方向進行移動。

7.如權利要求1所述的裝夾系統，其特征在于，

所述裝夾系統還包括傳動裝置，所述傳動裝置具有收容部、旋轉部、及傳動部；

所述旋轉部連接所述傳動部，所述傳動部連接所述收容部，所述收容部用于收容所述第一待清洗工件與所述第二待清洗工件；

所述旋轉部用于將所述收容部從平行于多個所述裝夾組件的排列方向旋轉至垂直于多個所述裝夾組件的排列方向；

所述傳動部用于將所述收容部向所述第一凹槽與所述第二凹槽的方向移動。

8.一種待清洗工件的裝夾方法，其特征在于，所述裝夾方法包括：

提供第一待清洗工件、第二待清洗工件與裝夾裝置，所述裝夾裝置包括多個依次排列的裝夾組件，所述裝夾組件包括第一裝夾部與第二裝夾部，所述第一裝夾部設有第一凹槽，所述第一裝夾部包括形成所述第一凹槽的第一側壁與連接所述第一側壁的第一表面，所述第二裝夾部設有第二凹槽；

將所述第一待清洗工件置入所述第一凹槽，所述第二待清洗工件置入所述第二凹槽；

驅動所述第一側壁進行轉動以改變所述第一側壁與所述第一表面之間的角度，且同時驅動所述第一裝夾部與所述第二裝夾部沿多個所述裝夾組件的排列方向進行移動，以使得所述第一側壁的長度保持不變，以使得所述第一待清洗工件與所述第二待清洗工件之間的間距可調。