[發明專利]溫度控制裝置

在審

• 申請號: 201910974007.6
• 申請日: 2019-10-14
• 公開（公告）號: CN112731767A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發明（設計）人: 徐順達;呂帥;王冠楠;朱鵬飛;浦東林
• 申請（專利權）人: 蘇州蘇大維格科技集團股份有限公司;蘇州大學
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 蘇州謹和知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 32295
• 代理人: 唐靜芳

本申請涉及一種溫度控制裝置，安裝于激光直寫設備上，激光直寫設備包括架體、設置在架體內用以進行激光直寫的工作區域、位于工作區域上方的密閉區域、位于工作區域下方的溫控區域及與工作區域、溫度控制裝置信號連接的控制器，溫度控制裝置包括：溫度傳感器，設置在工作區域內以檢測工作區域內的溫度；冷水機，與溫度傳感器信號連接；風道機構，豎向設置在工作區域內且連接溫控區域及密閉區域；冷凝翅片，設置在溫控區域內且連接冷水機及風道機構；風扇，設置在風道機構上；風機過濾器，設置在密閉區域內且用以將流向至工作區域的氣流過濾。本申請的溫度控制裝置能夠集成至激光直寫設備上，且控溫精度高。

技術領域

本發明涉及一種溫度控制裝置，屬于激光直寫技術領域。

背景技術

在激光直寫過程中，對設備內部腔體的環境要求很高，這個環境包括兩方面：溫度和潔凈度。環境溫度變化范圍一般為0.5℃，潔凈度要求一般為1000級，這兩個技術參數相對來說較為苛刻，控制設備內部溫度及潔凈度成為一大難題。因此，激光直寫設備的溫度控制裝置應運而生，但是，現有技術在控溫過程中存在反應不及時，控溫精度較差，難以集成到整機上等缺點。

發明內容

本發明的目的在于提供一種溫度控制裝置，其能夠集成至激光直寫設備上，且控溫精度高。

為達到上述目的，本發明提供如下技術方案：一種溫度控制裝置，安裝于激光直寫設備上，所述激光直寫設備包括架體、設置在所述架體內用以進行激光直寫的工作區域、位于所述工作區域上方的密閉區域、位于所述工作區域下方的溫控區域及與所述工作區域、溫度控制裝置信號連接的控制器，所述溫度控制裝置包括：

溫度傳感器，設置在所述工作區域內以檢測所述工作區域內的溫度；

冷水機，與所述溫度傳感器信號連接；

風道機構，豎向設置在所述工作區域內且連接所述溫控區域及所述密閉區域；

冷凝翅片，設置在所述溫控區域內且連接所述冷水機及風道機構；

風扇，設置在所述風道機構上；

風機過濾器，設置在所述密閉區域內且用以將流向至所述工作區域的氣流過濾。

進一步地，所述溫控區域具有與所述工作區域連通設置的回風口，所述工作區域內的氣流通過所述回風口流入至所述溫控區域內。

進一步地，所述冷水機設置在所述架體外。

進一步地，所述風扇設置在所述風道機構的底部。

進一步地，所述風扇為一個或多個。

進一步地，所述風道機構為一個或多個。

進一步地，所述冷水機具有制冷和制熱兩種模式。

進一步地，所述激光直寫設備還包括設置在所述溫控區域一側的控制區域，所述控制器設置在所述控制區域內。

本發明的有益效果在于：通過將溫度控制裝置的各部件設置在激光直寫設備的各區域內，以將溫度控制裝置的大部分部件集成至激光直寫設備內部，不僅可以對激光直寫設備內部的溫度和潔凈度得到調節，同時也不增大激光直寫設備的整體結構，快捷方便；

在工作區域內設置有溫度傳感器，溫度控制器可直接檢測工作區域的溫度以滿足工作區域的曝光工藝要求；且工作區域具有與溫控區域連通設置的回風口，使得溫控區域、風道、風機過濾器及回風口形成一個閉合的空氣循環系統，提高控溫精度。

上述說明僅是本發明技術方案的概述，為了能夠更清楚了解本發明的技術手段，并可依照說明書的內容予以實施，以下以本發明的較佳實施例并配合附圖詳細說明如后。

附圖說明

圖1為本發明的設置有溫度控制裝置的激光直寫設備的結構示意圖。