[發明專利]一種芯片生產用離子注入設備

有效

• 申請號: 201910946233.3
• 申請日: 2019-10-03
• 公開（公告）號: CN110600354B
• 公開（公告）日: 2021-12-28
• 發明（設計）人: 馮聰
• 申請（專利權）人: 山東昆仲信息科技有限公司
• 主分類號: H01J37/317
• 分類號: H01J37/317;H01L21/67
• 代理公司: 山東誠杰律師事務所 37265
• 代理人: 王志強

1.一種芯片生產用離子注入設備，包括：殼體(1)，其特征在于：所述殼體(1)內部下端固定安裝有支撐架(2)，支撐架(2)的上端固定安裝有固定殼(3)，固定殼(3)內部的下端固定安裝有固定塊(4)，固定塊(4)上表面的凸出處滑動連接有活動柱(5)，所述固定殼(3)的內部固定安裝有刻度板(6)，刻度板(6)的正面滑動搭接有活動桿(7)，活動桿(7)的兩端固定安裝有兩個相對稱的卡球(8)，所述活動桿(7)的上端固定安裝有離子發生器(9)，離子發生器(9)的上端貫穿并延伸至固定殼(3)的外部，離子發生器(9)的上端固定安裝有固定板(10)，固定板(10)的兩端通過密封球(11)螺紋連接有噴射殼(12)，噴射殼(12)的兩端固定安裝有噴射頭(13)，所述噴射殼(12)內腔的中部固定安裝有固定橫桿(14)，所述殼體(1)的內壁固定安裝有兩個相對稱的噴氣管(15)，所述固定橫桿(14)位于離子發生器(9)的正上方，且固定橫桿(14)的直徑小于離子發生器(9)的直徑，所述噴氣管(15)位于殼體(1)的內壁呈向下傾斜三十至四十五度，且噴氣管(15)內填充氮氣，所述殼體(1)的上端活動安裝有上蓋，上蓋的下端活動安裝有半導體，半導體位于離子發生器(9)的正上方，所述固定橫桿(14)的直徑與噴射殼(12)中部的內直徑相適配，所述噴射頭(13)位于噴射殼(12)上呈傾斜向固定橫桿(14)的一端傾斜，所述活動桿(7)下端的背面固定安裝有固定條，刻度板(6)的正面開有與活動桿(7)相適配的滑道。