[發(fā)明專利]抗紫外和近紅外輻射的增透玻璃的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201910892826.6 | 申請日： | 2019-09-20 |
| 公開（公告）號： | CN110627373A | 公開（公告）日： | 2019-12-31 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 黃仕華;丁月珂;李興達 | 申請（專利權(quán)）人： | 浙江師范大學(xué) |
| 主分類號： | C03C17/36 | 分類號： | C03C17/36;C23C14/35;C23C14/18;C23C14/58;C23C14/08 |
| 代理公司： | 33216 杭州之江專利事務(wù)所(普通合伙) | 代理人： | 朱楓 |
| 地址： | 321004 *** | 國省代碼： | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 波長 近紅外輻射 可見光 紫外輻射 吸收 鋁誘導(dǎo) 玻璃 粗化 制備 氧化鋅納米薄膜 二氧化鈦薄膜 紫外光 玻璃表面 玻璃材料 磁控濺射 鍍膜玻璃 建筑玻璃 近紅外光 汽車玻璃 增透玻璃 照明燈具 制備絨面 生長 反射率 透射率 錫摻雜 釔摻雜 透射 薄膜 應(yīng)用 | ||
1.抗紫外和近紅外輻射的增透玻璃的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：
1)鋁誘導(dǎo)玻璃絨面結(jié)構(gòu)制備：把清洗過的玻璃基片放入磁控濺射儀的真空室，濺射鋁薄膜，鋁薄膜厚度為80～150nm，在550～600℃的溫度和氬氣保護下退火2～5h，退火結(jié)束后自然冷卻至室溫；把退火后的基片放入85％磷酸溶液，在110℃溫度下浸泡10分鐘，用去離子水沖洗后，再用1:2～5的HF:HNO3溶液浸泡30秒，用去離子水沖洗，并用氮氣烘干后待用；
2)錫摻雜氧化鋅納米薄膜制備：采用磁控濺射方法，靶材為氧化鋅與氧化錫混合陶瓷，氧化鋅與氧化錫的質(zhì)量比例為85.0～95.0∶5.0～15.0；把步驟1)所得的玻璃基片放入磁控濺射儀的真空室，濺射工作氣體為氬氣與氧氣混合氣體，質(zhì)量比為1.0∶0.5～2.0，濺射氣壓為0.1～0.3Pa，基片溫度為室溫，濺射功率為25～50Pa，濺射后的錫摻雜氧化鋅薄膜厚度為150～200nm；隨后，薄膜在氬氣保護下進行原位退火處理，退火溫度為350～450℃，退火時間為2h；
3)釔摻雜二氧化鈦薄膜制備：采用磁控濺射方法，靶材為氧化釔與二氧化鈦混合陶瓷，氧化釔與二氧化鈦的質(zhì)量比例為2.0～5.0∶95.0～98.0；把步驟2)所得的玻璃基片放入磁控濺射儀的真空室，濺射工作氣體為氬氣與氧氣混合氣體，質(zhì)量比為1.0∶0.5～2.0，濺射氣壓為0.3～0.8Pa，基片溫度為室溫，濺射功率為25～50Pa，濺射后的錫摻雜氧化鋅薄膜厚度為200～250nm；隨后，薄膜在氬氣保護下進行原位退火處理，退火溫度為450～550℃，退火時間為2h。
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