[發(fā)明專利]蒸鍍掩模及蒸鍍掩模的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201910879058.0
• 申請日: 2014-10-09
• 公開（公告）號: CN110578120B
• 公開（公告）日: 2022-03-08
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 武田利彥;小幡勝也;川崎博司
• 申請（專利權(quán)）人: 大日本印刷株式會社
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 岳雪蘭

1.一種蒸鍍掩模，在設(shè)有與要蒸鍍制作的圖案對應(yīng)的開口部的樹脂層的一面上層積未覆蓋所述開口部的金屬層而構(gòu)成，其特征在于，

在厚度方向截面，將所述樹脂層的不與所述金屬層相接側(cè)的面設(shè)為第一面，將所述樹脂層的與所述金屬層相接側(cè)的面設(shè)為第二面時，

所述樹脂層的所述開口部的內(nèi)壁面在厚度方向截面中，具有第一部分和第二部分，所述第一部分以從所述第一面朝向所述第二面?zhèn)葦U大的方式與所述第一面傾斜連接，所述第二部分以從所述第一面朝向所述第二面?zhèn)葦U大的方式與所述第二面傾斜連接，

所述第一部分與所述第一面構(gòu)成的角度比將所述第二部分延長的直線與所述第二面構(gòu)成的角度大。

2.一種蒸鍍掩模，其包含設(shè)有與要蒸鍍制作的圖案對應(yīng)的開口部的樹脂層，其特征在于，

將所述樹脂層的一面設(shè)為第一面，將另一面設(shè)為第二面時，

所述樹脂層的所述開口部的內(nèi)壁面在厚度方向截面具有從所述第一面朝向所述第二面?zhèn)葦U大地與所述第一面傾斜連接的第一部分、和從所述第一面朝向所述第二面?zhèn)葦U大地與所述第二面傾斜連接的第二部分，

所述第一部分與所述第一面構(gòu)成的角度比將所述第二部分延長的直線與所述第二面構(gòu)成的角度大。

3.如權(quán)利要求1或2所述的蒸鍍掩模，其特征在于，

將所述第一部分和所述第二部分連接。

4.一種蒸鍍掩模，在設(shè)有與要蒸鍍制作的圖案對應(yīng)的開口部的樹脂層的一面上層積未覆蓋所述開口部的金屬層而構(gòu)成，其特征在于，

在厚度方向截面，將所述樹脂層的不與所述金屬層相接側(cè)的面設(shè)為第一面，將所述樹脂層的與所述金屬層相接側(cè)的面設(shè)為第二面時，

所述樹脂層的所述開口部的內(nèi)壁面在厚度方向截面中，具有第一部分和第二部分，該第一部分從所述第一面朝向所述第二面?zhèn)葦U大而與所述第一面傾斜連接，該第二部分從所述第一面朝向所述第二面?zhèn)葦U大而與所述第二面傾斜連接，

厚度方向截面中的將所述第一部分延長的直線與將所述第二面延長的直線的交點與厚度方向截面中的所述內(nèi)壁面的第二部分與所述第二面的交點相比，在所述第二面所處的平面內(nèi)更位于所述開口部的內(nèi)側(cè)。

5.一種蒸鍍掩模，包含樹脂層，該樹脂層設(shè)有與要蒸鍍制作的圖案對應(yīng)的開口部，其特征在于，

在將所述樹脂層的一面設(shè)為第一面，將另一面設(shè)為第二面時，

所述樹脂層的所述開口部的內(nèi)壁面在厚度方向截面上，具有以從所述第一面向所述第二面?zhèn)葦U大的方式與所述第一面傾斜連接的第一部分，和以從所述第一面朝向所述第二面?zhèn)葦U大的方式與所述第二面傾斜連接的第二部分，

厚度方向截面上的將所述第一部分延長的直線和將所述第二面延長的直線的交點與厚度方向截面上的所述內(nèi)壁面的第二部分與所述第二面的交點相比，在所述第二面所處的平面內(nèi)，更靠所述開口部的內(nèi)側(cè)而存在。

6.一種蒸鍍掩模，其在設(shè)有與要蒸鍍制作的圖案對應(yīng)的開口部的樹脂層的一面上層積有未覆蓋所述開口部的金屬層而構(gòu)成，其特征在于，

在厚度方向截面，將所述樹脂層的不與所述金屬層相接側(cè)的面設(shè)為第一面，將所述樹脂層的與所述金屬層相接側(cè)的面設(shè)為第二面，將所述樹脂層的所述開口部的內(nèi)壁面與所述第一面的交點設(shè)為第一交點，將所述內(nèi)壁面與所述第二面的交點設(shè)為第二交點時，

所述內(nèi)壁面具有在厚度方向截面從所述第一面朝向所述第二面?zhèn)葦U大的形狀，

所述內(nèi)壁面在所述第一交點與所述第一面構(gòu)成的角度比所述內(nèi)壁面在所述第二交點與所述第二面構(gòu)成的角度大。

7.一種蒸鍍掩模，其包含設(shè)有與要蒸鍍制作的圖案對應(yīng)的開口部的樹脂層，其特征在于，

在將所述樹脂層的一面設(shè)為第一面，將另一面設(shè)為第二面，

在厚度方面截面上，將所述樹脂層的所述開口部的內(nèi)壁面與所述第一面的交點設(shè)為第一交點，將所述內(nèi)壁面與所述第二面的交點設(shè)為第二交點時，

所述內(nèi)壁面具有在厚度方向截面從所述第一面朝向所述第二面?zhèn)葦U大的形狀，

所述內(nèi)壁面在所述第一交點與所述第一面構(gòu)成的角度比將所述內(nèi)壁面延長的直線在所述第二交點與所述第二面構(gòu)成的角度大。