[發(fā)明專利]一種適用于大尺寸單晶提拉速及散熱的裝置在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201910868501.4 | 申請(qǐng)日： | 2019-09-12 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN110424050A | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-11-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張文霞;高潤(rùn)飛;郭志榮;張石晶;韓凱;武志軍;霍志強(qiáng);郭謙;王林;谷守偉;徐強(qiáng) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 內(nèi)蒙古中環(huán)光伏材料有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C30B15/00 | 分類號(hào)： | C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津諾德知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 欒志超 |
| 地址： | 010070 內(nèi)蒙古自*** | 國(guó)省代碼： | 內(nèi)蒙古;15 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 制冷裝置主體 視線 單晶 大尺寸單晶 出水管道 單晶爐蓋 進(jìn)水管道 觀察孔 散熱 提拉 軸向溫度梯度 晶體表面 晶體結(jié)晶 冷卻介質(zhì) 熱量散失 溫度維持 依次設(shè)置 硅結(jié)晶 內(nèi)循環(huán) 生長(zhǎng) 觀察 拉速 坩堝 流通 保證 | ||
1.一種適用于大尺寸單晶提拉速及散熱的裝置，其特征在于：包括制冷裝置主體、進(jìn)水管道和出水管道，所述進(jìn)水管道與所述出水管道分別與所述制冷裝置主體連接，便于冷卻介質(zhì)在所述制冷裝置主體內(nèi)循環(huán)流通，其中，
所述制冷裝置主體設(shè)有多個(gè)視線孔，所述多個(gè)視線孔沿著單晶爐蓋至坩堝方向依次設(shè)置；以及，
所述單晶爐蓋設(shè)有觀察孔，所述多個(gè)視線孔設(shè)于所述制冷裝置主體與所述觀察孔相對(duì)側(cè)，便于觀察單晶的生長(zhǎng)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的適用于大尺寸單晶提拉速及散熱的裝置，其特征在于：
沿著所述多個(gè)視線孔設(shè)置的方向，第一個(gè)所述視線孔的長(zhǎng)度在所述觀察孔的視線方向上的投影覆蓋所述單晶生長(zhǎng)的固液界面距所述觀察孔最遠(yuǎn)的生長(zhǎng)點(diǎn)，便于通過(guò)所述第一個(gè)視線孔觀測(cè)所述單晶生長(zhǎng)的固液界面距所述觀察孔最遠(yuǎn)的生長(zhǎng)點(diǎn)生長(zhǎng)；以及
末端最后一個(gè)視線孔的長(zhǎng)度在所述觀察孔的視線方向上的投影覆蓋所述單晶生長(zhǎng)的固液界面距所述觀察孔最近的生長(zhǎng)點(diǎn)，便于通過(guò)所述末端最后一個(gè)視線孔觀測(cè)所述單晶生長(zhǎng)的固液界面距所述觀察孔最近的生長(zhǎng)點(diǎn)生長(zhǎng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的適用于大尺寸單晶提拉速及散熱的裝置，其特征在于：沿著所述多個(gè)視線孔設(shè)置的方向，首個(gè)所述視線孔、所述單晶的固液界面距所述觀察孔最遠(yuǎn)生長(zhǎng)點(diǎn)與所述單晶爐蓋的觀察孔呈直線設(shè)置，便于觀察單晶的固液界面距所述觀察孔最遠(yuǎn)生長(zhǎng)點(diǎn)的生長(zhǎng)；以及
末個(gè)所述視線孔、所述單晶的固液界面距所述觀察孔最近生長(zhǎng)點(diǎn)與所述單晶爐蓋的觀察孔呈直線設(shè)置，便于觀察單晶的固液界面距所述觀察孔最近生長(zhǎng)點(diǎn)的生長(zhǎng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1-3任一項(xiàng)所述的適用于大尺寸單晶提拉速及散熱的裝置，其特征在于：所述制冷裝置主體的垂直長(zhǎng)度為800-1200mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的適用于大尺寸單晶提拉速及散熱的裝置，其特征在于：所述制冷裝置主體為圓柱結(jié)構(gòu)，所述制冷裝置主體的內(nèi)徑大于所述單晶的直徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的適用于大尺寸單晶提拉速及散熱的裝置，其特征在于：所述制冷裝置主體的內(nèi)徑與所述單晶的直徑之差為40-80mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求5或6所述的適用于大尺寸單晶提拉速及散熱的裝置，其特征在于：所述制冷裝置主體為內(nèi)部有空腔的水冷內(nèi)導(dǎo)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的適用于大尺寸單晶提拉速及散熱的裝置，其特征在于：所述制冷裝置主體的末端與硅溶液的液面距離不大于70mm。
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