[發明專利]一種原子層沉積設備用工藝殘余氣體的過濾裝置

在審

• 申請號: 201910859313.5
• 申請日: 2019-09-11
• 公開（公告）號: CN110453199A
• 公開（公告）日: 2019-11-15
• 發明（設計）人: 靳偉;崔國東;戴秀海
• 申請（專利權）人: 光馳科技(上海)有限公司
• 主分類號: C23C16/455
• 分類號: C23C16/455;B01D5/00;B01D46/00;B01D53/76
• 代理公司: 31214 上海申蒙商標專利代理有限公司
• 代理人: 周宇凡<國際申請>=<國際公布>=<進入

本發明涉及薄膜制備技術領域，尤其涉及一種原子層沉積設備用工藝殘余氣體的過濾裝置，其特征在于：所述過濾裝置設置在原子層沉積真空腔體與用于抽吸所述原子層沉積真空腔體內工藝殘余氣體的真空干泵之間；所述過濾裝置至少包括冷凝過濾裝置以及反應過濾裝置，所述冷凝過濾裝置的入口與所述原子層沉積真空腔體相連接，出口與所述反應過濾裝置的入口相連接，所述反應過濾裝置的出口與所述真空干泵相連接。本發明的優點是：1)可實現過濾99%的原子層沉積殘余工藝氣體；2)大大的減少粉塵進入到干泵中，延長干泵的使用壽命。

技術領域

本發明涉及薄膜制備技術領域，尤其涉及一種原子層沉積設備用工藝殘余氣體的過濾裝置。

背景技術

延長原子層沉積設備的干泵使用壽命，減少更多的粉塵進入到泵口是原子層沉積設備的工藝殘余氣體處理的一個目標。

對于原子層沉積設備，目前采用的工藝源多數與水會發生反應。而大部分的設備供應商缺少對原子層沉積設備殘余工藝氣體的過濾裝置，大部分的工藝殘余會在管道內或者泵內冷凝成膜，變成粉塵。由于原子層沉積設備用泵容納粉塵的量有限，這樣就會導致原子層沉積設備用干泵壽命大大縮短，未過濾的殘余工藝氣體隨后在泵口的排出也增加了后續的尾氣處理裝置的工作負擔。

發明內容

本發明的目的是根據上述現有技術的不足，提供了一種原子層沉積設備用工藝殘余氣體的過濾裝置，通過在原子層沉積真空腔體與真空干泵之間設置過濾裝置，以減少殘余工藝氣體進入真空干泵之中，提高真空干泵使用壽命。

本發明目的實現由以下技術方案完成：

一種原子層沉積設備用工藝殘余氣體的過濾裝置，其特征在于：所述過濾裝置設置在原子層沉積真空腔體與用于抽吸所述原子層沉積真空腔體內工藝殘余氣體的真空干泵之間；所述過濾裝置至少包括冷凝過濾裝置以及反應過濾裝置，所述冷凝過濾裝置的入口與所述原子層沉積真空腔體相連接，出口與所述反應過濾裝置的入口相連接，所述反應過濾裝置的出口與所述真空干泵相連接。

所述冷凝過濾裝置指的是真空冷凝罐，所述真空冷凝罐內設置有多重導流板構成氣體通路，所述多重導流板相互交錯布置。

所述反應過濾裝置指的是真空過濾罐，所述真空過濾罐連接有水補充罐，所述真空過濾罐內部設置有粉塵過濾器；所述水補充罐所提供的水蒸氣與所述工藝殘余氣體在所述粉塵過濾器表面發生反應并生成于其表面。

所述粉塵過濾器連接有旋轉驅動裝置，所述粉塵過濾器可通過旋轉驅動裝置的驅動在所述真空過濾罐內部旋轉；在所述真空過濾罐的側壁上設置有粉塵刮板，所述粉塵刮板朝向所述粉塵過濾器。

本發明的優點是：1)可實現過濾99%的原子層沉積殘余工藝氣體；2)大大的減少粉塵進入到干泵中，延長干泵的使用壽命。

附圖說明

圖1為本發明的系統構成圖。

具體實施方式

以下結合附圖通過實施例對本發明特征及其它相關特征作進一步詳細說明，以便于同行業技術人員的理解：

如圖1所示，圖中標記1-11分別表示為：真空冷凝罐1、真空過濾罐2、粉塵過濾器3、導流板4、水補充罐5、粉塵刮板6、粉塵過濾器電機7、原子層沉積真空腔體8、真空干泵9、真空連接管道10、真空連接管道11。

實施例：如圖1所示，本實施例中的原子層沉積設備用工藝殘余氣體的過濾裝置設置在原子層沉積真空腔體8和真空干泵9之間，以過濾從原子層沉積真空腔體8排出的殘余工藝氣體，避免大量殘余工藝氣體進入真空干泵9之中而導致其壽命的縮短。

如圖1所示，自原子層沉積真空腔體8一側出口設置有真空連接管道10，真空連接管道10將原子層沉積真空腔體8內的工藝氣體通入作為真空冷凝罐1之中先進行冷凝過濾。