[發明專利]一種超高真空內氣體電離裝置

有效

• 申請號: 201910838892.5
• 申請日: 2019-09-05
• 公開（公告）號: CN110699673B
• 公開（公告）日: 2021-06-01
• 發明（設計）人: 盧建臣;許望偉;蔡金明
• 申請（專利權）人: 昆明理工大學;云天化集團有限責任公司
• 主分類號: C23C16/50
• 分類號: C23C16/50;C23C16/28
• 代理公司: 成都東恒知盛知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 51304
• 代理人: 何健雄;廖祥文

1.一種超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：該裝置由氣體導管(1)、電加熱絲(2)、絕緣片(3)、螺桿(4)、電源線(6)、四通腔體(8)、直線導入器(11)組成，四通腔體(8)上有四個法蘭，分別連接電源法蘭、封閉腔體，氣體源和直線導入器(11)，氣體導管(1)在末端與螺桿(4)平行，電加熱絲(2)固定在絕緣片(3)上，絕緣片(3)固定在螺桿(4)上，螺桿(4)與直線導入器(11)相連接，使電加熱絲(2)隨絕緣片(3)獲得沿螺桿(4)方向—即氣體導管(1)末端方向—的移動自由度，電源線(6)一端連接電加熱絲(2)，一端連接在電源法蘭(5)上，給電加熱絲(2)提供電源，使用時移動電加熱絲(2)至氣體導管(1)口附近，接通電源加熱電加熱絲(2)，電加熱絲(2)達到使用溫度后，通過氣體導管(1)導入氣體，氣體分子被高溫電加熱絲(2)熱電離成原子或者離子。

2.根據權利要求1所述的超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：裝置工作時，電加熱絲(2)處于氣體導管(1)口附近。

3.根據權利要求1所述的超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：電加熱絲(2)有沿氣體導管(1)末端方向的移動自由度。

4.根據權利要求1所述的超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：所述的絕緣片(3)用于固定電加熱絲(2)，同時避免電加熱絲(2)短路。

5.根據權利要求1所述的超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：所述的氣體導管(1)材質為任何金屬或PVC可加工高強度材料。

6.根據權利要求1所述的超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：所述的螺桿(4)材質為任何適用于超高真空的金屬材料。

7.根據權利要求1所述的超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：所述的電加熱絲(2)和電源線(6)材質為任何適用于超高真空的金屬材料。

8.根據權利要求1所述的超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：所述的絕緣片(3)材質為任何適用于超高真空的絕緣材料。

9.根據權利要求1所述的超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：利用法蘭將氣體導管(1)與氣體源連接，將氣體導入封閉的工作環境中。

10.根據權利要求1所述的超高真空內氣體電離裝置，其特征在于：利用電加熱絲(2)加熱氣體，使氣體在高溫環境中被電離為原子或離子。