[發明專利]基板沖洗裝置及其設置方法

有效

• 申請號: 201910797652.5
• 申請日: 2019-08-27
• 公開（公告）號: CN110918522B
• 公開（公告）日: 2022-11-22
• 發明（設計）人: 樸庸碩;金圣澤;尹楨惠
• 申請（專利權）人: 顯示器生產服務株式會社
• 主分類號: B08B1/04
• 分類號: B08B1/04;B08B13/00;B08B3/02
• 代理公司: 北京商專永信知識產權代理事務所(普通合伙) 11400
• 代理人: 方挺;黃謙

本發明涉及提高耐久性、削減使用時的過載、更換和維護便利的基板沖洗裝置及其設置方法。基板沖洗裝置包括：輥刷組件，第一支撐部，第二支撐部，第一旋轉部，第二旋轉部，以及施壓部。輥刷組件具有基管，沿中心軸線方向形成有貫通孔；在基管的外周表面的刷；引入塞，分別耦合到基管的兩端并密閉貫通孔。第一、第二支撐部分別間隔配設在輥刷組件的兩端。第一旋轉部耦合到輥刷組件一端的引入塞，與輥刷組件一體旋轉。第二旋轉部耦合到輥刷組件另一端的引入塞，與輥刷組件一體旋轉。施壓部一端耦合到第二支撐部，另一端與第二旋轉部耦合，向輥刷組件另一端的引入塞的方向對第二旋轉部加壓，使第二旋轉部耦合到輥刷組件另一端的引入塞。

技術領域

本發明涉及一種基板沖洗裝置及其設置方法，更詳細地，涉及一種提高耐久性、削減使用時的過負載、且更換和維護便利的基板沖洗裝置及其設置方法。

背景技術

隨著信息化社會的發展，對顯示裝置的要求正在以各種形式增加。與此相應，近年來已經研究了LCD、PDP、ELD和VFD等各種平板顯示裝置，并且其中一部分已在各種裝置中用作顯示裝置。

通常，顯示裝置用玻璃基板在主處理工序中，在基板的主表面上形成有由光致抗蝕劑涂布液、光敏聚酰胺樹脂、濾色器染色體等構成的薄膜層，該基板被裝載在基板傳送裝置中并沿一個方向移動，然后經過后處理工序，例如化學藥液涂布工序、沖洗工序和干燥工序等。

在這種平板顯示裝置的制造工序中，所述沖洗工序是用于去除基板上的異物和顆粒的工序，其中附著在玻璃基板上的污染顆粒成為主要沖洗對象。在這樣的用于去除污染顆粒的沖洗方法中，使用刷的沖洗方法得到廣泛使用。使用刷的沖洗工序是在將沖洗液噴射到基板上的同時使刷旋轉以去除基板上的異物。

圖1是示出現有的基板沖洗裝置的刷組件的示意圖。

如圖1所示，以往，現有的基板沖洗裝置的刷組件由軸10、刷20以及支撐臺30構成。

通常，刷20可以以通道形式纏繞固定在軸10上，或者以帶的形式纏繞并與軸10一體化，用于沖洗面板基板。

軸10構成為實心形式。軸10的兩端直接耦合到支撐臺30。另外，隨著面板基板大型化，軸10的直徑變大并且長度也變長，軸10的重量也增大。然而，由于以往的軸10以實心形式構成，因而伴隨直徑的變大且長度的增加，重量也變大。因此，存在的問題是，設備使用時的負載大。

然后，在更換刷20的情況下，應將刷20和軸10一起全部更換。因此，存在的問題是，用于運輸分離的大重量的軸和刷并運輸新的大重量的軸和刷的物流成本會增大。

另外，由于需要運輸大重量的軸和刷的過程，因而存在的問題是，更換作業需要很多時間。

現有文獻中有大韓民國公開專利公報第2010-0059415號(2010年6月4日公開)。

發明內容

為了解決上述問題，本發明要解決的技術問題是提供一種提高耐久性、減少使用時的過負載、且更換和維護便利的基板沖洗裝置及其設置方法。

本發明要解決的技術問題不限于以上提到的技術問題，本領域技術人員從以下描述中可以清楚地理解以上未提到的其他技術問題。

為了解決上述問題，提供了一種基板沖洗裝置，包括：輥刷組件，具有：基管，沿中心軸線方向形成有貫通孔以使兩端開放；刷，配設在所述基管的外周表面上；以及引入塞，分別耦合到所述基管的兩端并密閉所述貫通孔；第一支撐部，間隔開地配設在所述輥刷組件的一端；第二支撐部，間隔開地配設在所述輥刷組件的另一端；第一旋轉部，耦合到所述第一支撐部，并耦合到所述輥刷組件的一端的引入塞，與所述輥刷組件一體地旋轉；第二旋轉部，耦合到所述輥刷組件的另一端的引入塞，并與所述輥刷組件一體地旋轉；以及施壓部，其一端耦合到所述第二支撐部，其另一端與所述第二旋轉部耦合，向所使用輥刷組件的另一端的引入塞的方向對所述第二旋轉部施壓，使得所述第二旋轉部耦合到所述輥刷組件的另一端的引入塞。